莱宝镀膜机日常保养和维护(修改)(1)..pptxVIP

2011/10/15;;泵的维护和保养; ; ;二、扩散泵的维护和保养 1、基本定义： 扩散泵又称金属油扩散泵。所谓扩散就是气体密度均匀化的一种过程， 扩散泵底部油受热呈雾状经导流管从泵的喷嘴喷出向四周定向高速膨 胀（而不是射流），被抽容器的气体分子扩散到油雾膨胀波中，经碰 撞压缩后被逐级送到泵出口被前级泵抽走，油蒸汽在泵壁遇冷成油流 回泵底重新受热循环工作。 2、保养目的： 扩散泵油在抽气过程中会将空气中粉尘和其他杂质带入泵底，杂质和 粉尘在泵底高温状态下容易发生质变，泵油与空气接触后流回泵底与 质变的 杂质接触，就会使油质逐渐变坏，就是俗称的“氧化”，所以 需定期对扩散泵油进行更换，并对泵体及泵芯进行清洁 3、保养方法 将扩散泵从设备上拆下后逐级取下泵芯，用丙酮和碎布清洁整个泵内壁 及其所有泵芯上面的油污和油垢，自然晾干后再逐级装回即可 4、注意事项： a、泵芯要轻拆轻放，不可碰撞，防止变形 b、注意泵芯水冷密封圈要平滑装入 c、注入新油油量约为5升左右 d、装好泵后需对泵进行检漏，并预抽真空到4.0E-2mba左右方可加 热投入工作;真空计的维护和保养;莱宝机所用真空计分类 莱宝镀膜机目前所使用的真空计有： 皮拉尼规PSG500 电离-皮拉尼复合规 冷电离规即潘宁规 电离皮拉尼复合规不在保养之列，在此不做介绍;一、皮拉尼规的保养 1、皮拉尼规的原理： 皮拉尼规的型号很多，如PSG400/S,PSG050,PSG500等，我们现在使用的是PSG500型号，如下图： 其基本工作的原理为：内部热丝发 热能量随气体浓度变化而变化，其 变化的比例关系就通过计算后经显 示器反应其真空度变化。 当真空度测量不准确，通过调节零 点而无法恢复时，说明其灯丝已经 污染，需要清洗。 ;; 二、潘宁规（冷电离规）的保养（清洗） 1、潘宁规的工作原理： 潘宁规是通过阴极环放电产生电子，在磁场的作用下获得能量使气体 分子电离。电离后的电离子数量通过计算经显示器反应真空度。潘宁 规真空度主要作用是提供离子源真空参数。 2、潘宁规的清洗： 照下图方法拆卸潘宁规： a、用镊子拆下阴极片 b、拆下阴极环，注意 轻摇轻晃，不能过 度搬动，防止断裂 c、倒出陶瓷绝缘垫 d、将所有拆下的配件