寄生式时栅角位移传感器的新型动态解算系统.pdf

第３８卷　第９期 仪 器 仪 表 学 报 Ｖｏｌ３８Ｎｏ９ ２０１７年９月 ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔ Ｓｅｐ．２０１７ 寄生式时栅角位移传感器的新型动态解算系统 １ ２ １ ２ 王　伟 ，彭东林 ，石照耀 ，赵勇图 （１．北京工业大学 北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心　北京　１０００２４； ２．重庆理工大学 时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室　重庆　４０００５０） 摘　要：为了将时栅角位移传感器应用于运动控制场合，设计了一套新型的测角解算系统。相比传统测角解算系统，该系统不 仅实现了时栅角位移传感器的动态测量，而且降低了系统成本，有利于传感器高集成度、低成本设计。首先利用优化的坐标旋 转数字计算方法（ＣＯＲＤＩＣ）进行角度粗解算，然后利用三角函数在０附近微区间内呈现线性特性实现了高分辨率的误差线性 补偿，完成角度的精解算。减少迭代次数的同时达到了较高的输出精度，实时性高。最后讨论算法本身带来的测量误差，同时， 对整个系统的误差进行了溯源。以寄生式时栅角位移传感器为载体，通过调整了传感器的激励输入和利用高速ＡＤ的过采样 技术，实现了基于寄生式时栅角位移传感器的整个解算系统的设计，同时搭建了测试实验平台，实验结果表明，在传感器输出信 号较理想情况下，且允许的速度范围内，系统测量误差小于１０″，可以满足动态测量场合下时栅角位移传感器的应用。 关键词：ＣＯＲＤＩＣ算法；寄生式时栅角位移传感器；动态测量 中图分类号：ＴＨ７　　　文献标识码：Ａ　　国家标准学科分类代码：４６０．４０ Ｎｏｖｌｅａｎｇｕｌａｒｍｅａｓｕｒｅｄｓｙｓｔｅｍｂａｓｅｄｏｎｐａｒａｓｉｔｉｃｔｉｍｅｇｒａｔｉｎｇａｎｇｕｌａｒｓｅｎｓｏｒ １ ２ １ ２ ＷａｎｇＷｅｉ，ＰｅｎｇＤｏｎｇｌｉｎ，ＳｈｉＺｈａｏｙａｏ，ＺｈａｏＹｏｎｇｔｕ （１．ＢｅｉｊｉｎｇＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＲｅｓｅａｒｃｈＣｅｎｔｅｒｏｆＰｒｅｃｉｓｉｏｎＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｎｄＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔ，ＢｅｉｊｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００２４，Ｃｈｉｎａ；２．ＣｈｏｎｇｑｉｎｇＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＴｉｍｅＧｒａｔｉｎｇＳｅｎｓｉｎｇａｎｄＡｄｖａｎｃｅｄＴｅｓｔｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＣｈｏｎｇｑｉｎｇ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｃｈｏｎｇｑｉｎｇ４０００５４，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＩｎｏｒｄｅｒｔｏａｐｐｌｙＴｉｍｅＧｒａｔｉｎｇｓｅｎｓｏｒｓｔｏｔｈｅｈｉｇｈｓｐｅｅｄｆｉｅｌｄｓ，ａｎｏｖｅｌａｎｇｌｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓｙｓｔｅｍｉｓｄｅｓｉｇｎｅｄ．Ｔｈｉｓｓｙｓｔｅｍ ｃａｎａｃｈｉｅｖｅｄｙｎａｍｉｃｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔａｎｄｒｅｄｕｃｅｃｏｓｔｓｃｏｍｐａｒｅｄｗｉｔｈｔｈｅｃｏｎｖｅｎｔｉｏｎａｌｍｅａｓｕｒｉｎｇｓｙｓｔｅｍ．Ｆｉｒｓｔｌｙ，ｏｐｔｉｍｉｚｅｄｃｏｏｒｄｉｎａｔｅ ｒｏｔａｔｉｏｎｄｉｇｉｔａｌｃｏｍｐｕｔｅｒ（ＣＯＲＤＩＣ）ａｌｇｏｒｉｔｈｍｉｓｕｔｉｌｉｚｅｄｆｏｒｒｏｕｇｈａｎｇｌｅｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎ．Ｔｈｅｎ，ａｈｉｇｈａｃｃｕｒａｃｙｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎａｌｇｏｒｉｔｈｍｉｓ ｐｒｏｐｏｓｅｄｔｏｒｅａｌｉｚｅｐｒｅｃｉｓｅａｎｇｌｅｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎ，ｃｏｎｓｉｄｅｒｉｎｇｌｉｎｅａｒｒｅｌａｔｉｏｎｓｈｉｐｗｈｅｎｔｈｅａｎｇｌｅｉｓｃｌｏｓｅｔｏｚｅｒｏ．Ｔｈｉｓｍｅｔｈｏｄｎｏｔｏｎｌｙ ｒｅｄｕｃｅｓｔｈｅｎｕｍｂｅｒｏｆｉｔｅｒａｔｉｏｎｓ，ｂｕｔａｌｓｏａｃｈｉｅｖｅｓｈｉｇｈｅｒｏｕｔｐｕｔａｃｃｕｒａｃｙａｎｄｈｉｇｈｒｅａｌｔｉｍｅｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ．Ｆｉｎａｌｌｙ