七号信令论文.docVIP

得分 评卷教师 哈尔滨远东理工学院 半导体气敏传感器 姓 名：许靖雯 分　　院：机器人学院 专　　业：电子信息工程 学 号 哈尔滨远东理工学院传感器 二0 年 月 日 - 1 气敏传感器 1.1气敏传感器的定义 气敏传感器又称“气体传感器”，是用来检测气体类别、浓度和成分的传感器。它将气体种类及其与浓度有关的信息转换成电信号，根据这些电信号的强弱就获得与待测气体有关的信息，从而可以进行检测。由于气体种类繁多，性质各不相同，不可能用一种传感器检测所以类别的气体，因此，能实现气—电转换的传感器种类很多，按构成气敏传感器材料可分为半导体和非半导体两大类。目前实际使用较多的是半导体气敏传感器。 1.2半导体气敏传感器分类 半导体气敏传感器是利用待测气体与半导体表面接触时，产生的电导率等物理性质变化来检测气体的。按照半导体变化的物理特性，又可分为电阻型和非电阻型，电阻型半导体气敏原件是利用敏感材料接触气体时，其阻值变化来检测气体的成分或浓度；非电阻型半导体气敏元件是利用其它参数，如二极管伏安特性和场效应晶体管的阈值电压变化来检测被测气体的。表1—1为半导体气敏元件的分类。 表1—1 半导体气敏元件的分类 主要物理特性 类型 检测气体 气敏元件 电阻型 电阻 表面控制型 可燃性气体 SnO2、ZnO等的烧结体、薄膜、厚膜 体控制型 酒精 可燃性气体 氧气 氧化镁，SnO2 氧化钛（烧结体） T-Fe2O3 非电阻型 二极管整流特性 表面控制型 氢气 一氧化碳 酒精 铂—硫化镉 铂—氧化钛 （金属—半导体结型二极管） 晶体管特性 氢气、硫化氢 铂栅、钯栅MOS场效应管 气敏传感器是暴露在各种成分的气体中使用的，由于检测现场温度、湿度的变化很大， 又存在大量粉尘和油雾等，所以其工作条件较恶劣，而且气体对传感元件的材料会产生化学反应物，附着在元件表面，往往会使其性能变差。因此，对气敏元件有下列要求：能长期稳定工作，重复性好，影响速度快，共存物质产生影响小等。用半导体气敏元件组成的气敏传感器主要用于工业上的天然气、煤气，石油化工等部门的易燃、易爆、有毒等有害气体的监测、预报和自动控制。 2 半导体气敏传感器的结构和工作原理 2.1半导体气敏传感器的结构 半导体气敏传感器一般由三部分组成：敏感元件、加热器和外壳。按其结构可分为烧结型、薄膜型和厚膜型，（如图1—1）所示。 半导体气敏传感器是利用待测气体与半导体(主要是金属氧化物)表面接触时,产生的电导率等物性变化来检测气体。半导体气敏器件被加热到稳定状态下,当气体接触器件表面而被吸附时,吸附分子首先在表面自由地扩散(物理吸附) ,失去其运动能量,其间的一部分分子蒸发,残留分子产生热分解而固定在吸附处(化学吸附)。 图1—1 半导体气敏传感器结构图 图(a)所示为烧结型气敏元件，它以多孔质陶瓷如SnO2为基材，添加不同物质采用低温(700℃～900℃)制陶方法进行烧结，烧结时埋入铂电极和加热丝，最后将电极和加热丝引线焊在管座上制成元件。 图(b)所示为薄膜型气敏元件，是用蒸发或溅射方法，在石英或陶瓷基片上形成金属氧化物薄膜(厚度在100nm以下)，用这种方法制成的敏感膜颗粒很小，因此具有很高的灵敏度和响应速度。 图(c)所示为厚膜型气敏元件，将气敏材料(SnO2、ZnO)与一定比例的硅凝胶混制成能印刷的厚膜胶，把厚膜胶用丝网印刷到事先安装有铂电极的氧化铝的基片上，在400℃～800℃的温度下烧结1个～2个小时便制成厚膜型气敏元件。 这些气敏元件全部附有加热器，它的作用是使附着在探测部分处的油雾、尘埃等烧掉，同时加速气体氧化还原反应，从而提高元件的灵敏度和响应速度，一般加热到200℃～400℃。 2.2 半导体气敏传感器的工作原理 电阻型半导体气敏传感器气敏元件的敏感部分是金属氧化物微结晶粒子烧结体，当它的表面吸附有被测气体时，半导体微结晶粒子接触介面的导电电子比例就会发生变化，从而使气敏元件的电阻值随被测气体的浓度改变而变化。电阻值的变化是伴随着金属氧化物半导体表面对气体的吸附和释放而产生的，为了加速这种反应，通常要用加热器对气敏元件加热. 下面以半导瓷材料SnO2为例，说明表面电阻控制型气敏传感器的工作原理。半导瓷材料SnO2属于N型半导体，N型半导体气敏传感器吸附被测气体时的电阻变化曲线（如图1—2所示）。 图1—2 N型半导体吸附气体时的器件阻值变