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湖南理工职业技术学院毕业设计 湖南理工职业技术学院 毕业设计说明书 （产品设计说明书□、工艺设计说明书、方案设计说明书□） 题 目： 晶硅电池黑硅制绒工艺优化方案 年级专业： 2015 级光伏发电技术与应用 学生姓名： 欧 昱 指导教师： 汤秋芳 2018 年 5 月 30 日 湖南理工职业技术学院毕业设计 摘 要 黑硅(black silicon)是指几乎可以吸收所有可见光、反射率极低 的硅表面或硅基薄膜。黑硅是一种电子产业革命性的新型半导体材料， 与一般的硅材料结构相比，黑硅具有很强的吸光能力，如果将黑硅应用 于光学传感器或太阳能电池，那么光学传感器的感光效率会提高上百 倍，太阳能电池的光电转换效率也得以显著提高。因此，黑硅在光伏电 池、超灵敏传感器等领域有十分重要应用潜力。 选题主要针对黑硅制绒工艺进行基本介绍，对黑硅制绒工艺当中所遇到的 部分问题进行优化设计及改善，以及改善过后得出的实验结果，黑硅制绒工 艺相对于常规制绒工艺制作成本上会降低，稳定性更强。改善优化部分常见 问题，对于黑硅技术的发展会越加的成熟使得黑硅制绒工艺越做越好。 关键词 黑硅工艺 优化设计 湖南理工职业技术学院毕业设计 目 录 第一章 黑硅工艺概述 1 1.1 什么是黑硅 1 1.2 黑硅电池片介绍 1 1.3 黑硅制绒工艺原理 2 1.4 黑硅制绒机台重点工艺简介 2 第二章 现行黑硅制绒工艺常见问题 5 2.1 黑硅制绒槽内常见问题 5 2.2 黑硅制绒后常见问题 5 2.3 黑硅制绒工艺常见问题成因分析 8 2.4 黑硅制绒后常见异常成因分析 8 第三章 黑硅制绒问题改善方案及优化 10 3.1 黑硅制绒槽内改善优化 10 3.2 黑硅制绒后问题的优化改善 10 3.3 龟裂纹等问题优化改善实验后结果 11 3.3.硅片白条色优化改善实验 12 总结 13 致谢 14 参考文献 15 湖南理工职业技术学院毕业设计 第一章 黑硅工艺概述 1.1 什么是黑硅 黑硅是最新研究发现的一种能大幅度提高光电转换效率的新型电子材料。简单来讲， 黑硅就是把原硅片在表面用涂料做一层涂层把表面颜色涂成黑色，硅片还是原来的硅片， 可以大量减少光的反射，这样硅片看起来就是黑色的了。制法就是刷涂层，让表面有一颗 一颗的凸起，涂层的主要成份是二氧化硅。我们看现有的硅电池片，都是蓝色的，然后上 面有格栅，这样的硅片已经做了钝化处理，钝化的目的是减少反射和去掉悬空键，但是我 们看起来还是蓝色的，亮亮的，所以黑硅比现有的钝化要高明很多。 现有的钝化需要严 格的温度要求，还要真空。 这种黑硅材料能够捕捉几乎全部日光。它就像一块吸收光的海绵，可见光和红外线都 能吸收。这种材料能够提高光的使用效率，产生的电流是传统硅材料的几百倍。此外，黑 硅还可以减少光传感器的硅使用量，使产品更加便宜、小巧和轻便。 1.2 黑硅电池片介绍 黑硅电池片外观是黑色或近于黑色的电池,其独特的微观纳米结构使其具备卓越的减 反射性能。关于黑硅的制备，目前有多种方法可以实现，主要包括：反应离子刻蚀（RIE）、 金属诱导湿法黑硅（MCCE）、激光加工（LP）、化学气相沉积（CVD）和等离子体浸没离 子注入（PIII）[等。其中，RIE、MCCEE 和PIII 是目前黑硅太阳电池研究中较为常见的。 MCCE 金属（Ag）诱导湿法黑硅：沉积银颗粒在硅片表面，金属粒子与硅接触的地方分别形 成了电池的正负极，和周围的溶液形成一个完整的电流回路。反应过程中，H2O2 优先氧化 金属颗粒下面的硅形成SiO2，然后被HF 刻蚀掉。随着金属粒子往下沉积，形成坑洞。