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基于PSD的静电悬浮位置测量与控制系统设计-ChinaXiv.PDFVIP

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  • 2019-04-08 发布于天津
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基于PSD的静电悬浮位置测量与控制系统设计-ChinaXiv.PDF

    基于PSD的静电悬浮位置测量与控制系统设计-ChinaXiv.PDF

    2015 34 3 (Transducer and Microsystem Technologies) 年第 卷第 期 传感器与微系统 97 — — — DOI :10 ． 13873 / J． 1000 9787 (2015)03 0097 03 基于PSD 的静电悬浮位置测量与控制系统设计 1，2 1 1，2 1 ，

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