第6章压电式传器.pptVIP

电荷放大器的输出电压 （6-12） 通常A=104~108， 当满足(1+A)CfCa+Cc+Ci时， （6-13） 电荷放大器的特点:输出电压uo只取决于输入电荷与反馈电容Cf，与电缆电容Cc无关，且与q成正比，这是电荷放大器的最大特点。 为了得到必要的测量精度，要求反馈电容Cf的温度和时间稳定性都很好，在实际电路中，考虑到不同的量程等因素，Cf的容量做成可选择的，范围一般为100~104pF。 6.3 压电式传感器的应用 压电式单向测力传感器的结构: 主要由石英晶片、 绝缘套、电极、上盖及基座等组成。 图6-11 压力式单向 测力传感器结构图 6.3.1 压电式测力传感器 传感器上盖为传力元件，它的外缘壁厚为0.1~0.5mm，当外力作用时，它将产生弹性变形，将力传递到石英晶片上。石英晶片采用xy切型， 利用其纵向压电效应， 通过d11实现力—电转换。石英晶片的尺寸为φ8×1mm。该传感器的测力范围为0~50N，最小分辨率为0.01 N，固有频率为50~60 kHz，整个传感器重为10 g。 图6-11 压力式单向 测力传感器结构图 压电式加速度传感器的结构图。 组成:它主要由压电元件、质量块、预压弹簧、基座及外壳等。整个部件装在外壳内，并由螺栓加以固定。 图6-12 压电式加速度传感器结构图 6