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THE ENERGY INFLUX FROM AN RF PLASMA TO A …从RF离子体的能量涌入….pptVIP

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  • 2019-01-27 发布于福建
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THE ENERGY INFLUX FROM AN RF PLASMA TO A …从RF离子体的能量涌入….ppt

    THE ENERGY INFLUX FROM AN RF PLASMA TO A …从RF离子体的能量涌入…

    The energy influx from an rf plasma to a substrate during plasma processing;Abstract;Substrate heating: csdT/dt = Fin-Fout ;Thermal probe;Thermal probe: raw data;Experimental setup;Results: Argon;Results: Oxygen;Conclusions

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