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第一部分 电子元器件失效分析技术
1. 失效分析的基本概念和一般程序
电子元器件失效分析技术与案例 2 . 失效分析的电测试
3 . 无损失效分析
4 . 模拟失效分析
信息产业部电子五所 5 . 制样技术
6 . 形貌像技术
费庆宇
7 . 扫描电镜电压衬度像
8. 热点检测技术
9 . 聚焦离子束技术
失效分析的基本概念 失效模式的概念和种类
失效分析的定义 失效的表现形式叫失效模式
失效模式 失效模式是失效的结果
失效机理 按电测结果分类,失效模式可分为:开
纠正措施 路、短路或漏电、参数漂移、功能失效
失效分析的作用
失效机理的概念 开路的可能失效机理
失效的 理化学根源叫失效机理 过 应力(EOS )损伤、金属 迁移、
失效机理是失效的原因 金属的 化学腐蚀、压焊点脱落、
CMOS 电路的闩锁效应、塑封器件的爆
米花效应
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PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建
金属 迁移 过 应力(EOS )损伤
金属的 化学腐蚀
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