电子元器件失效分析技术与案例.pdfVIP

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第一部分 电子元器件失效分析技术 1. 失效分析的基本概念和一般程序 电子元器件失效分析技术与案例 2 . 失效分析的电测试 3 . 无损失效分析 4 . 模拟失效分析 信息产业部电子五所 5 . 制样技术 6 . 形貌像技术 费庆宇 7 . 扫描电镜电压衬度像 8. 热点检测技术 9 . 聚焦离子束技术 失效分析的基本概念 失效模式的概念和种类 失效分析的定义 失效的表现形式叫失效模式 失效模式 失效模式是失效的结果 失效机理 按电测结果分类,失效模式可分为:开 纠正措施 路、短路或漏电、参数漂移、功能失效 失效分析的作用 失效机理的概念 开路的可能失效机理 失效的 理化学根源叫失效机理 过 应力(EOS )损伤、金属 迁移、 失效机理是失效的原因 金属的 化学腐蚀、压焊点脱落、 CMOS 电路的闩锁效应、塑封器件的爆 米花效应 1 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 金属 迁移 过 应力(EOS )损伤 金属的 化学腐蚀

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