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第38 卷第5 期 机器人 ROBOT Vol.38, No.5
2016 年9 月 Sep., 2016
DOI ：10.13973/ki.robot.2016.0557
基于平面柔顺机构的θ θ Z 微动台静力学分析及优化设计
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魏华贤，李 威，杨雪锋，王禹桥，王承涛
（中国矿业大学机电工程学院，江苏徐州 221116 ）
摘 要：设计了基于平面柔顺机构的θ θ Z 微动台．只考虑平面柔顺机构的平面内变形建立其静力学分析过
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程，对各支腿对动平台的作用进行独立分析．通过卡氏位移定理求得输入输出之间的转换关系，并建立了平面支
腿位移放大比与结构尺寸的直接关系，基于遗传算法进行了结构尺寸优化．最后完成了样机有限元分析及实验研
究，结果验证了分析及优化方法的可靠性，理论模型与有限元仿真及实验结果的误差分别小于4% 和12%．
关键词：柔性铰链；θ θ Z 微动台；静力学；尺寸优化
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中图分类号：TP24 文献标识码：A 文章编号：1002-0446(2016)-05-0557-06
Static Analysis and Optimal Design of θ θ Z Micropositioner with
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Planar Compliant Mechanisms
WEI Huaxian ，LI Wei ，YANG Xuefeng ，WANG Yuqiao ，WANG Chengtao
(School of Mechatronic Engineering, China University of Mining and Technology, Xuzhou 221116, China)
Abstract: A θ θ Z micropositioner is developed based on planar compliant mechanism. The static analysis is completed
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where only the planar deformation of each leg is taken into consideration. The effects of each leg on the mobile platform are
analyzed separately. The Castigliano’s theorem is utilized to derive the relationships between inputs and outputs. The relation
between the displacement amplification of each planar leg and the structure dimensions is formulated. Then, the dimension
parameters are optimized by means of genetic algorithm. Finally, the finite element analysis (FEA) and the experimental
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