《SJT31260-1994A500-B2K型高真空薄膜镀膜机完好要求和检查评定方法》.pdfVIP

设备完好要求和检查评定方法 (下 册) 专用设备 (续) 中华人 民共和.电子行业振准 A500B2K型高真空薄膜敏膜机完好要求 sd/r31260-94 和检变评定方法 ， 主.内容与适用范围 本标准规定了A500B2K型高真空薄膜镀膜机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于A500B2K型高真空薄膜镀膜机。 2 完好要求 2.1 主要性能 21.1 镀膜性能 a. 膜卷宽度范围:250^-520mm; b. 镀层最大宽度:500mm; c. 卷膜速度范围:。.8^-8m/s; d， 一个计算面积单位镀膜范围:1-5d1, 2.1.2 真空源 a. 极限压力:不低于5X10-Pa; b. 抽气速率:5min不低于1X10-Pa; c. 工作极限压力:不低于 1X10-Pa; d.漏气率:镇3X10Pa1/s; 2.1.3 镀膜鼓冷却与加热温度范围为一40C-+25C 2.1.4 卷绕产品端面平整允差不超过士。.lmm,被层无擦伤。 2.2 操作系统 2.2.1 各操作手柄、开关、按钮、旋钮启动灵活，标志齐全