晶圆切割制程的稳健设计－六标准差与田口实验设计的应用.PDFVIP

工程科技與教育學刊 第六卷 第二期 民國九十八年六月 第 213 ～225 頁 晶圓切割製程的穩健設計－六標準差與田口實驗設計的應用 林志良、林谷鴻 國立高雄應用科技大學 工業工程與管理系 E-mail: ghlin@cc.kuas.edu.tw 摘 要 六標準差的精神是利用統計品管方法改善產品的品質問題以減少不良產品的成本浪費。本文嘗試將六 標準差的管理手法 DMAIC 導入製程改善流程中，依據有系統、邏輯性的方法針對個案公司的晶圓切割製程 作深入的分析，在改善階段更使用田口博士所提的穩健設計觀念取代傳統的實驗計劃法，秉持快速與低成 本的原則，獲得影響製程能力之關鍵因素及其最佳組合水準，並藉著完整的品質管制策略及作為，掌握關 鍵因素的投入，提昇其製程能力；最後建立關鍵品質特性的管控系統，確保產品品質的提高及避免不良品 的成本浪費，進而達到六標準差的目標。 本研究以個案公司單一產品為例，將結合後的分析