3D粗糙度重建系统-飞纳中国.PDF

| 3D 阴影复形 性能优于光学和机械测量系统 基于阴影复形技术，无需倾斜样品台 自动化界面 快速重建 直观和自动化的用户操作界面 快速重构样品结构 研磨材料的粗糙度重建彩色高度图 3D 粗糙度重构视图中包含三条线的轮廓测量结果。右边表格包含平均粗糙度 （Ra）和粗糙高度（Rz）的测量结果。 随着 3D 粗糙度重建的应用，飞纳台式扫描电镜能重建 3D 图像和测量亚微米级粗糙度。基于阴影复形技术，3D 图像能用于分析样品 特征 。 3D 成像 粗糙度 3D 成像有助于分析样品特征，使大多数用户深入理解图片信息。 平均粗糙度（ Ra）和粗糙高度（Rz）的测量对质量控制和了解生 但这点在二维图片中往往是十分困难的，例如分辨凹痕、磨痕和 产工艺十分重要。与传统（间接法）方法相比，利用SEM采集图 凸起 。 像进行数据重建，可以获得更高的分辨率。 当需要实现下列的一个或多个目的时，将 3D 粗糙度重建应用添 加到飞纳台式扫描电镜中是十分必要的： • 质量控制 • 纹理分析 • 证物表征 • 缺陷和失效性分析 • 磨损分析 3D 粗糙度重建软件只能安装于飞纳台式扫描电镜的 ProSuite 平 台上 ，ProSuite 平台上还包含多款飞纳台式电镜专业软件。 02 说明书 | 3D 粗糙度重建 600 倍下钻头顶部视图 2900 倍下钻头顶部视图 优点 • 性能优于光学和机械测量方法： · 高分辨率 · 可测量反光样品 · 直接测量 · 对样品无损伤 • 直观的全自动操作界面 • 基于阴影复形技术，无需样品台倾斜 • 一体化解决方案 • 快速重建 参数表 自动3D成像 · 全 3D 视图 输出 · 高度线 的轮廓 · 彩色标注高度的2D 或 3D 视图 · CSV 文件 · 表面粗糙度过滤的 3D 视图 · 2D/3D 视图 自动测量粗糙度 · Ra (平均粗糙度) 和 Rz (粗糙高度) ProSuite其他部分 支持 网络存储 · 用户自定义过滤波长 飞纳 电镜一体化系统 · 最多可测量5条线 2 mm 到10 μm 视野大小