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- 2019-02-01 发布于天津
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第卷第期年月物理学报电荷非平衡结构电场分布方健乔明李肇基电子科技大学微电子与固体电子学院成都年月日收到年月日收到修改稿建立了电荷非平衡情况下耐压结构的二维电场分布理论模型获得了浓度和宽度非平衡梯形区和横向线性缓变掺杂三种非平衡结构的电场分布理论分析结果与二维器件数值仿真软件的仿真结果符合良好虽然给出的电场分布为三角级数形式但仍能从中获得很多重要信息特别地由此可求出非平衡结构的峰值电场和耐压该结果有助于对结构的深入分析关键词电场分布电荷非平衡数值模拟软件分析了的浓度和宽度偏引言差对耐压等参数的影响
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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