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美国Filmetrics公司生产的薄膜厚度测量仪利用反射干涉的原理进行
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Thin-Film Thickness Measurement Systems
岱美中国(D y m e k C h i n a )
岱美有限公司成立于1989 年,总部位于
中国香港,在上海,东莞及北京都设立
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了办事处,是一家拥有多年经验的国际
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性高科技设备分销商,主要为数据存
储、半导体、MEMs 、光通讯、高校及 无损测量,可测量薄膜厚度及光学常数。测量精度达到埃级的分辩率,测
研发中心提供各类测量设备、工序设备 量迅速,操作简单,界面友好,是目前市场上最具性价比的薄膜厚度测量
和解决方案,以及相应的技术支持。 设备。设备光谱测量范围从近红外到紫外线,波长范围从200nm 到1700nm
可选。凡是光滑的,透明或半透明的和所有半导体膜层都可以测量。其可
主要销售或提供技术支持的产品 测量薄膜厚度在1nm 到1mm 之间,测量精度高达1 埃,测量稳定性高达
超薄晶圆处理设备、晶圆键合设备、纳
0.7 埃,测量时间只需一到二秒, 并有手动及自动机型可选。可应用领域包
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括:生物医学(Biomedical), 液晶显示(Displays), 硬涂层(Hard coats), 金
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