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金属密封式 数字式质量流量/压力计和控制器 简介 Bronkhorst High-Tech B.V.，是热式MFM/MFC和电子式EPC在欧 洲市场的领导者。拥有多年研发生产高精度和可靠的测量控制设 备的经验。Bronkhorst拥有宽广的仪表产品线，可为各种市场的 不同应用提供创新的解决方案。Bronkhorst®仪表可根据客户需求 定制，适用于实验室、工业场合甚至危险区域，如半导体和仪器 分析行业。 金属密封 1989年，Bronkhorst开始生产金属密封型MFM/MFC和EPT/EPC， 以满足半导体市场和其他高纯度气体应用的需要。配置高质量 的表壳，采用金属与金属面密封的模块化结构，确保长效的密封 性。金属密封型MFM/MFC可提供的测量范围从 0.12…6 sccm 到 特性概览 1…50slm (等值N2) ，更高量程也可定制。金属密封型EPM/EPC可 u专利的金属-金属面密封构造确保长效的密封性能（大气环境） 测压力范围从 0.029…1.43 Psi 高达 18…900 Psi 。 u 电解法抛光接液部件 u 响应迅速，重复性极佳 独特的数字化设计 u流量范围从 0.12..6 sccm 到 1...50 slm 的等值N2 如今的仪表都配备数字PCB板，精度高、极佳的温度稳定性、 （更高量程需定制） 响应迅速（设定时间τ 可低至600毫秒）。数字PCB板包含所 u 多气体/多量程功能 98% ® u低压差或真空应用方案可选 有测量和控制的基本功能。最新的EL-FLOW 增加了多气体/多 u压力范围从 0.029…1.43 到 18…900 psi 量程功能，方便OEM客户灵活处理并提高生产时效。为方便客 u表体安装构造可选 户，Bronkhorst还提供简易操作的组态软件。 u符合RoHS规范 标准RS232输出，可供模拟I/O信号。此外，集成接口电路板有 数字特性 DeviceNet™、PROFIBUS DP、Modbus-RTU/ASCII、 EtherCAT® 、 u可选DeviceNetTM 、PROFIBUS DP、Modbus-RTU/ASCII、 ® PROFINET及FLOW-BUS 总线可选。 EtherCAT 、PROFINET 或 FLOW-BUS slave; RS232 接口。 u旋钮开关用于设置寻址地址和DeviceNetTM传输速率 u精度高：± 0.5% 读数 + ± 0.1% 满量程 u可储存多达8条校准曲线 u报警和计数功能 u单通道电源：+15 或 +24 Vdc 技术参数 质量流量测量/控制系统