双点干涉法位相缺陷检测中的解相算法比较.PDF

第９卷　第４期 　　　　 　　中国光学　　　　　　　 Ｖｏｌ．９　Ｎｏ．４ 　 　　 　　　　　　　 ２０１６年８月　 　 　 Ａｕｇ．２０１６ ＣｈｉｎｅｓｅＯｐｔｉｃｓ 文章编号　２０９５１５３１（２０１６）０４０４８３０８ 双点干涉法位相缺陷检测中的解相算法比较 戚子文，刘炳国，张仲海，卢丙辉，刘国栋 （哈尔滨工业大学 电气工程及自动化学院，黑龙江 哈尔滨１５０００１） 摘要：双点光源移相干涉测量是大口径光学元件位相缺陷检测的一种重要方法。为了分析双点干涉中误差对解相算法 的影响，首先给出相位缺陷检测的系统结构和理论模型，在此基础上，针对测量过程中主要存在的一次移相误差、二次移 相误差、光强误差