Q_SF 03-2019CIGS 薄膜太阳能电池PVD沉积设备.pdf

标准化 质量管理 Q/SF 浙江上方电子装备有限公司企业标准 Q/SF 03-2019 CIGS 薄膜太阳能电池PVD 沉积设备 2019- 01 -23 发布 2019- 01 -23 实施 浙江上方电子装备有限公司 发 布 Q/SF 03-2019 前 言 本标准按GB/T 1.1-2009 《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》给出的规则起草 主要技术指标参照GB/T 3163-2007 《真空技术术语》、GB/T 3164-2007 《真空技术图形符号》、 JB/T 7673-2011 《真空技术 真空设备型号编制方法》、JB/T 8945-2010 《真空建设镀膜设备》、JB/T 6446-2004 《真空阀门》、GB 22360-2008 《真空泵安全要求》 本标准由浙江上方电子装备有限公司提出。 本标准起草单位：浙江上方电子装备有限公司。 本标准主要起草人： 2 Q/SF 03-2019 CIGS 薄膜太阳能电池PVD 沉积设备 1 范围 本标准规定了CIGS薄膜太阳能电池PVD沉积设备的术语和定义、规格型号、参数、要求、检测方法、 检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于CIGS薄膜太阳能电池PVD沉积设备。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用 文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 3163-2007 真空技术 术语 GB 5226.1-2008 机械电气安全 机械电气设备 第1部分：通用技术条件 GB/T 9480 农林拖拉机和机械、草坪和园艺动力机械 使用说明书编写规则 GB/T 13306 标牌 GB/T 13384-2008 机电产品包装通用技术条件 JB/T 6446-2004 真空阀门 JB/T 7673-2011 真空技术 真空设备型号编制方法 JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件 GB/T 3163界定的术语和定义适用于本文件。 3.1 CIGS薄膜太阳能电池PVD沉积设备 设备由上料模块、主设备（PVD）和下料模块组成，主要用来作为CIGS薄膜太阳能电池行业的生产 设备 3.2 物理气相沉积（PVD） 指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。 4 规格型号 3 Q/SF 03-2019 CIGS薄膜太阳能电池PVD沉积设备的型号用英文字母和汉字表示 PVD Mo 镀膜工艺（用汉字表示） 膜层名称:Mo （钼） 设备大类 示例：“PVD Mo连续式” 沉积设备表示利用物理气相沉积法来镀制Mo膜层，应用于薄膜太阳能电 池行业的连