Q_BXC 01-2018电子工业用混合气体.pdf

Q/BXC 保定市西城气体有限公司企业标准 Q/BXC 01-2018 代替Q/BXC 01-2017 电子工业用混合气体 2018-7-28发布 2018-7-31实施 保定市西城气体有限公司 发布 Q/BXC01-2018 前 言 本标准自发布之日起代替Q/BXC01-2017。 本标准是对Q/BXC01-2017 标准的确认。 2014 8 本标准于 年 月首次发布。 本标准起草单位：保定市西城气体有限公司。 本标准起草人：郭洪森、张勇、冯志坚、赵众。 Q/BXC01-2018 电子工业用混合气体 1. 范围 本标准规定了电子工业用混合气体要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存。 本标准适用于硅烷、磷烷、砷烷和乙硼烷与氮、氢、氩、氦所配置的电子工业用混合气体。 1．引用标准： 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所 有的修改单 （不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而鼓励根据本标准达成协议的各 方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T5832.2－2008 气体中微量水分的测定,第2部分 露点法 HG/T2686-1995 惰性气体中微量氢 氧 甲烷 一氧化碳的测定氧化锆气相色谱法 GB/T 8984－2008 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法 GB/T 10628－2008 气体分析 校准混合气体组成的测定和校验 比较法 GB/T6285-2003 气体中微量氧的测定 电化学法 GB/T 8979-2008 纯氮、高纯氮和超纯氮 GB/T 14599-2008 纯氧、高纯氧和超纯氧 GB/T4742-2006 氩 GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷 GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢 GB/T26250-2010 电子工业用气体 砷化氢 GB/T4844-2011 纯氦、高纯氦和超纯氦 GB/T7445-1995 纯氢、高纯氢和超纯氢 GB 7144-1999 气瓶颜色标志 2．要求： 3.1 混合气体浓度配制允差应符合表 1规定。 表1 混合气体的浓度与配制允差 浓 度 配制允差 （相对） （10－100）Χ10-6 _+10% （0．01－50）Χ10-2 _+5% 4．试验方法： 4.1 混合气体浓度测定 按GB/T 10628进行。 Q/BXC01-2018 5．检验规则： 5.1 出厂检验：