基于二维光栅的高精度三维位移测量系统-仪器科学与技术专业论文.docxVIP

哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 万方数据 万方数据 摘 要 进入 21 世纪后，半导体制造技术和超精密加工技术对精密位移测量提出了 越来越高的要求。光栅位移测量装置具有分辨力高、测量精度高、不易受测量 环境影响、价格较低等优点，因而被广泛的应用在多种精密位移测量场合，并 得到了国内外众多学者的关注。目前，测量一维直线位移和二维平面位移的光 栅位移测量技术已经比较成熟，但是有关使用光栅位移测量装置测量三维位移 的研究还较少，而且相关研究成果的光栅平面外位移的测量范围都较小。因此， 研究一种在三个测量方向上都具有较大量程的高精度三维光栅位移测量系统， 不仅可以为高精度的三维位移测量提供一种技术解决方案，而且对推动光栅位 移测量领域研究的发展也具有现实意义。 本课题研究了一种基于二维光栅的高精度三维位移测量系统，利用反射光 栅衍射的自准直结构，使测量系统的 z 向位移量程不再受限于衍射光斑直径的 大小，从而扩大了系统在 z 向的测量范围。 本文基于傅里叶光学理论，分析了一维光栅和二维光栅的衍射特性，并推 导了反射光栅衍射的自准直条件，从衍射光干涉理论和多普勒频移理论两个角 度分析了光栅位移测量的测量原理。 在此基础上，提出了所研究的三维光栅位移测量系统的测量结构，并对其 测量光路进行了设计。该系统由一个 x 向栅距和 y 向栅距均为 8μm 的反射式二 维