RationalNano20010802自组装技术在奈米材料制备方面的发展.DOCVIP

TITLE \* MERGEFORMAT from: SUBJECT \* MERGEFORMAT ITRI-ITIS-MEMS- AUTHOR \* MERGEFORMAT Rational You: rationalyou@ 【 FILENAME \p D:\★Rational\●RationaYou★\Rational200106--★--.doc】 All: NUMPAGES 2 pages( TIME \@ yyyy/M/d 2001/6/15)【PAGE1 】 RationalNan自組裝技術在奈米材料製備方面的發展】 基於七十年代以來﹐微電子產業的蓬勃發展﹐傳統上微電子產業所採用的微製造技術﹐包括薄膜沉積、微影、蝕刻等技術﹐一直因應微細化、高密度需求﹐積極使製程能力向更微細的程度努力﹐至今一般較先進半導體製造廠的基本製程能力已達0.2微米以下﹐至於0.1微米或更細微的製程能力也已研發成功。 上述微電子元件的製程﹐採用不同於結構材料的由小而大的組裝方式﹐而是用類似於雕刻的由大而小(Top Down)的方式﹐其差異如下圖2 E. A. Dobisz et al.. Chap. 20 in Nanomaterails: Synthesis, Properties and Applications, Ed.by A. S. Edelstei