GB/T 26068-2018硅片和硅锭载流子复合寿命的测试　非接触微波反射光电导衰减法.pdf

犐犆犛７７．０４０ 犎２１ ／ — 犌犅犜２６０６８ ２０１８ ／ — ＧＢＴ２６０６８ ２０１０ 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犮犪狉狉犻犲狉狉犲犮狅犿犫犻狀犪狋犻狅狀犾犻犳犲狋犻犿犲犻狀狊犻犾犻犮狅狀狑犪犳犲狉狊犪狀犱 — 狊犻犾犻犮狅狀犻狀狅狋狊 犖狅狀犮狅狀狋犪犮狋犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳犺狅狋狅犮狅狀犱狌犮狋犻狏犻狋犱犲犮犪 犵 狆 狔 狔 犫 犿犻犮狉狅狑犪狏犲狉犲犳犾犲犮狋犪狀犮犲犿犲狋犺狅犱 狔 ２０１８１２２８ ２０１９１１０１ ／ — 犌犅犜２６０６８ ２０１８ 　　 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ １ ……………………………………………………………………………………………………… １ 　 ２ ………………………………………………………………………………………… １ 　 ３ ……………………………………………………………………………………………… １ 　 ４ ………………………………………………………………………………………………… ２ 　 ５ ………………………………………………………………………………………………… ２ 　 ６ ………………………………………………………………………………………………… ４ 　 ７ ……………………………………………………………………………………………………… ６ 　 ８ ……………………………………………………………………………………………………… ６ 　 ９ ………………………………………………………………………………………………… ７ 　 １０ …………………………………………………………………………………………………… ９ 　 １１ ………………………………………………………………………………………………… ９ 　 （ ） ………………………………………………………………… Ａ １０ 　 （ ） …………………………