微结构平面旋转运动角度测量的分析.pdfVIP

第一章绪论 第一章绪论 微结构的静态形貌和运动测试是微机电系统研究的基础，也是微纳技术研究 的重要内容。微机电系统的设计、加工以及可靠性等都离不开MEMS测试。迄 今为止，不同测试方法和测试仪器已经被研究用于MEMS和微小器件加工制造 过程中。但MEMS的迅速发展对测试者不断提出新的要求，MEMS测试技术研 究还有待深入。 本章首先介绍了微机电系统的发展概况，讲述了MEMS测试技术对MEMS 研发的重要意义，随后对平面运动的旋转测量的研究现状和发展趋势进行了充分 调研，最后提出课题研究的主要目的和内容。 1．1微机电系统发展状况 微机电系统发展的源头可以追溯到40多年前，1959年12月的美国物理学会 E 议，诺贝尔奖获得者、著名物理学家费曼博士(Richard Feynman)作了一个极 Is ofRoomattheBottom”【lJ。