RENA设备构造与系统.pptxVIP

　　　 　　　　　　　　　　 　　　　 　;第一部分：RENA设备构造 第二部分：RENA设备操作系统 第三部分：RENA设备保养 第四部分：RENA常见故障及处理方法 ;第一部分：设备概览：intex / inOxSide;General information / 概述;工作流程; Working process /工作流程;Stations / 各槽子位置图;Stations ; 第二部分： RENA InTex 的软件界面;Info bar / 信息栏;Button bar / 按钮栏;Button bar / 按钮栏;Additional buttons in the main screen 主界面中附加的按钮;Mode manual / 手动模式;Mode Service / 维护模式;Mode Auto / 自动模式;Button bar / 按钮栏;Click “Drain bath” to drain the chemical from “etch bath” to “tank” / 选中“Etch bath”，点击＂Drain Bath,即把Etch bath 中的反应液排到Tank内。;第三部分：RENA设备保养;RENA设备保养流程;RENA设备保养流程;RENA设备保养流程;第四部分：RENA常见故障及处理方法;RENA常见故障及处理方法;Training for rena