GB/T 15909-2017电子工业用气体　硅烷.pdf

ICS71.100.20 G86 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT15909 2017 代替 / — GBT15909 2009 电子工业用气体 硅烷 — Gasforelectronicindustr Silane y 2017-05-31发布 2017-12-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT 15909 2017 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 / — 《 》。 / — , 本标准代替 电子工业用气体 硅烷 与 相比 除编辑性 GBT15909 2009 GBT15909 2009 修改外主要技术变化如下: ——— , ( ); 修改了标准名称 删除了标准名称中硅烷的分子式 SiH4 ——— : , ( , ); 修改了范围 增加了适用的制备方法 修改了适用范围 见第 章 年版的第 章 1 2009 1 ——— : / 、 / , / 、 、 修改了规范性引用文件 删除 GBT8984.3GBT11640增加 GBT11446.1GB15258 / 、 / 、 / ( , ); 见第 章 年版的第 章 GBT16804GBT26571GBT28726 2 2009 2 ——— : -2( )( , );