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空气洁净度等级测试 C.1.1 空气洁净度等级的测试一般采用粒子计数器，采样量应大于1L/ min。测试粒径大于等于0.5μm粒子时，宜采用光散射粒子计数器；测试粒径大于等于0.1的粒子时，宜采用大流量激光粒子计数器（采样量每分钟28.3L）；测试粒径小于0.1μm的超微粒子时，宜采用凝聚核激光粒子计数器。 C.1.2 洁净度等级测试前，应先进行风速，风量、静压差、过滤器检漏和围护结构密闭性检测。 C.1.3 采样点确定 C.1.3.1 应下式计算最少采样点 （C.1.3） 式中——最少采样点，四舍五入取整数； ——洁净室（区）的面积。在水平单向流时，指与气流方向垂直的流动空气的截面积。以㎡计。 C.1.3.2 采样点应均匀分布于洁净室（区）的面积内，并位于工作区高度。 C.1.4 每次采样的最少采样量 C.1.4.1 每个采样点的每次采样量（VS）应按下式计算： （C.1.4） 式中：——被测洁净室（区）空气洁净度等级被测粒径的允许限值（个/m3）； 20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时，可检测到的粒子数。 C.1.4.2 每个采样点的采样量至少为2L，采样时间最少为1min，当洁净室（区）仅有1个采样点时，则在该点至少采样3次。 当Vs很大时，采样时间会很长，可参照采用ISO14644-1附录F中规定的顺序采样法。 C.1.5 对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向，对于非单向流洁净室，采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度。 C.1.6 室内测试人员必须穿洁净服，不得超过3人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。 C.1.7 每个采样次数为2次或2次以上的采样点，应按式C.1.7计算平均粒子浓度。 （C.1.7） 式中：——采样点i的平均粒子浓度，i可代表任何位置； ——每次采样的粒子浓度； N——在采样点i的采样次数。 C.1.8 采样点为1个时，应按式C.1.7计算该点平均粒子浓度。采样点为10个或10个以上时，按式C.1.7计算各点的平均浓度后，再按式C.1.8计算洁净室（区）总平均值。 （C.1.8） 式中： ——各采样点平均值的总平均值； ——按式C.1.7计算的各个采样点的平均值，既洁净室（区）总平均值； m——采样点的总数。 C.1.9 置信上限（UCL）的计算 C.1.9.1 当采样点只有1个或多于9个时，不计算95%置信上限。 C.1.9.2 采样点为1个以上10个以下时，根据式C.1.8计算出各采样点平均值和总平均值后，还应按式C.1.9.1计算出总平均值的标准偏差（S）。 （C.1.9-1） C.1.9.3 最后按式B.1.9-2计算出总平均值的95%置信上限（UCL）。 （C.1.9-2） 式中t——分布系数，见表B.1.9。 表C.1.9 95%置信上限（UCL）的t分布系数 采样点数（m） 2 3 4 5 6 7～9 t 6.3 2.9 2.4 2.1 2.0 1.9 C.1.9.4 如果每个采样点测得粒子浓度的平均值以及洁净室总平均值95%置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值，则认为该洁净室（区）已达到规定的空气洁净度等级。 如果测试结果未能满足规定的空气洁净度等级，可增加均匀分布的新采样点进行测试，对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算的结果，作为最终检验结果。 C.1.10 空气洁净度等级计算例 C.1.10.1 被测洁净室面积（区）为1000m2，空气洁净度等级为ISO5级，规定受控粒子粒径为0.3μm（D1）、0.5μm（D ⑴ 规定的粒径均在现行标准ISO5级粒径范围，并符合D2≥1.5D1的要求。 ⑵ 计算最大允许悬浮粒子浓度 对≥0.3μm的粒子： ，取10200个/m3。 对≥0.5μm的粒子： ，取3520个/m3。 ⑶ 按式（C.1.3）计算采样点数量： ，取32 由于采样点数大于10，不计算95%置信上限。 ⑷ 采样点每次采样量（Vs），按式(B.1.4)计算 选用采样量为28L/min的粒子计数器。这一选择满足：VS2L、Cn.m20个/m3的要求，其采样时间≥1min。 ⑸ 在每个采样点仅作一次采样（28L/min），测试得到的计数记录如下： 采样点 粒子数(≥0.3