干涉滤光片特性的膜厚修正法-光学精密工程.PDF

干 光 正 涉滤 片特性的膜厚修 法 朱 世 栋 【 ’ 发展 了 涉 光 来除波纹 但有人 设计干 滤 片 全 的 , 即 改 一 不 理 的完 不同 方法 略微 变 个 够 引 言 , 用 子 想的原始设计的各层膜厚度 电 计算机 出 , 用 , 用 排 程序 以估计对膜系特性的影响 当 , 膜 涉 的制备已 到 前 多层 干 滤光片 达 种 法 这里的 、 这 方 来逐步改进膜系特性 我们 相当 的 平 因 , 彩 电视 电 高 水 而 随着 色 膜 用 厚修正法就是基于采 这种方法进行的 照相 的发展, 类 得了 影和 技术等 这 滤光片获 下面先简要介绍这个方法的基本原理, 广泛的应用, 同时对滤光片的性能提出越来 然 明 用 法 压 通 波 后再说 怎样利 这种方 来 缩 带 严格的 求 膜 水 出 , 越 要 从现有镀 工艺 平 发 , 纹的设计计算以及它在滤光片制 备 中的应 膜系 切 出 人 计算与制备工艺密 结合 计算 令 用 的千 , 满意 涉滤光片膜系 并且根据实验曲线 制 的 误 , 分析 备工艺中 厚度控制 差 这是我们 兴趣的问 膜干涉 光 的 方 一、 正层 感 题 多层 滤 片 设计 膜厚务 理 、 , 法 川 「 『 里