常用真空泵简介.pptVIP

2.1 概述 钛、锆、钽、铌、钨、钼等金属在一定的温度范围内，对活性气体有很好的吸附和吸收性能——真空条件下，将这些金属蒸发沉积到真空腔内壁上，形成一层薄膜，可用来吸附活性气体 钽的吸气性能最好，但是蒸发温度高；钛价格便宜易蒸发，且抽气性能和工艺性能耗，一般采用钛做升华泵（TSP） 优点：(1) 抽速大，液氮温度下，对氮的抽速达10.1L/(cm2·s)，对氢可达19.9L/(cm2·s) ；(2) 极限真空度高，10-10Pa；(3) 超高真空状态下，抽速随压强降低而增大；(4)可获得清洁真空；(5) 结构简单，使用费用低 缺点：对惰性气体抽速小 2.2 TSP的工作原理与抽气性能 TSP的结构：吸气面、升华器、控制器 工作过程：通电加热钛丝至1100oC直接升华，沉积到冷却的表面上，形成钛膜，与活性气体结合成稳定的化合物(固相的TiO或TiN)，抽除气体分子 吸附机理：比较复杂，通常认为是物理吸附和化学吸附的综合作用，以化学吸附为主 1-吸气面；2-钛丝 3-电气控制装置 抽速特性 2.3 TSP的结构 钛升华器的要求 能提供所需的钛升华率； 钛升华率易于调节，可连续或间断的提供吸气剂； 钛升华器本身出气少或易于去气； 有足够的工作寿命，即有足够的钛存储量 低升华率和高升华率两种TSP 小功率升华器：升华率每小时几十毫克，吸气剂量为几克到几十克的升华器，工作可靠，结构简单，操作方便，主要作为辅助泵 高升华率升华器：升华率每小时几克到几十克，作为主泵使用 升华器的加热方式 加热方式有电阻加热式、热传导加热式、辐射加热式、电子轰击加热式等类型 (1) 电阻加热式 (2) 辐射加热式 将加热源和升华源两部分独立，利用钛球壳内的钨丝加热，利用辐射加热空心钛球，使之升华 加热均匀，储钛量大；但是加热丝固定困难，易烧断 三、锆铝合金吸气泵 锆铝吸气泵采用锆铝合金材料(84%锆，16%铝)在高温下吸附活性气体； 锆钒铁合金(70%锆，24.6%钒，5.4%铁)吸气泵 锆铝吸气泵优点：结构简单、体积小、造价低，操作安全可靠，维修方便，清洁无油，对活性气体，尤其是对氢具有很高的抽气能力。 缺点：不能抽惰性气体 锆铝吸气泵对氢、氘、氚吸气是可逆的，其他活性气体则是以稳定的化合物形式扩散到吸气剂内。 1-泵壳；2-泵芯；3-加热器；4-电极 5-真空规；6-热电偶；7-气体分析接头 3.1 锆铝吸气泵的结构与工作原理 泵芯是锆铝合金(84%:16%)粉末涂敷在金属吸气带上做成的，主要成分为Zr5Al3和Zr3Al2。 合金结构是铝进入锆晶格，产生很多孔穴，增加锆的吸气面积，提高扩散速率 180oC以下以表面吸附为主，180oC以上以体内扩散为主 350~450oC范围内对所有的活性气体都有很高的抽气能力 锆铝吸气泵的饱和与激活 锆铝吸气剂长期在高温下工作，会出现“饱和”，吸气率下降；甚至吸气剂表面形成氧化膜，失去吸气性能 当吸气速率降低到80%时，就需要进行再激活处理：在1Pa的压强下，加热至750~850oC，使吸气剂表面的固体氧化膜分解，使金属和气体的产物向更深的体内扩散，生出高度活泼的金属表面，同时除去过量的氢 一般的吸气带可以反复激活多次(~20次)，直到全部的吸气剂饱和为止——更换锆铝合金吸气带 3.2 锆铝吸气泵的工作条件 压强低于10-3Pa时，抽活性气体的工作温度为400oC，体内扩散速率是金属表面维持足够的吸气速率而不能释放氢； 10-3~1Pa范围内，抽活性气体工作温度为750oC——提高温度加速体内扩散，加速清洗吸气剂表面 对H2要求高抽速，工作温度为400oC 对纯氢要求大抽速和大吸气量是，工作温度一般为200~300oC 对纯氢要求尽可能大的吸气量而不需要大抽速时，可室温工作 高真空或者超高真空系统中，工作温度一般为400oC 四、低温泵 低温泵是利用低温表面将被抽空间的气体冷凝、捕集、吸附或冷凝+吸附，使被抽空间的压强大大降低，获得并维持真空状态的抽气装置 低温泵抽气是一种储存式捕集抽气，气体并没有排出泵外，一旦冷凝表面温度发生变化，它抽走的气体又会重新释放，破坏真空 应用: (1) 外太空模拟；(2) 高能物理、等离子体研究；(3) 薄膜制备领域；(4) 微电子学，尤其是半导体微电子技术中——离子注入，离子刻蚀；(5) 现代表面分析仪器中。 4.1 低温抽气原理 基本原理 设法使某一固体表面温度足够低，使其低于空气中主要气体成分的饱和蒸汽压温度，则大部分气体被凝结，从而达到抽真空的目的 抽气机理 速度分布决定捕获率的学说，认为飞到冷表面的气体分子中，仅仅是能量低于某一临界值的分子才被捕获； 动态平衡学说，认为飞到冷表面上的气体分子停留在冷表面上，同时另外一些分子从表面蒸发，离开表面，被捕集和离开表面的分子之差就是