斩光光刻工艺微针阵列的制备暍测试和仿真-光学精密工程.PDF

第 棽椂 暋 椀卷 第 期 光 学 精 密 工 程 暋 斨旓旍棶棽椂暋斘旓棶椀 暋 暋暋 暋暋暋 暋暋暋暋暋 暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 棽棸棻椄 椀 暋 暋年 月 旔 旂 旂 暋暋斖斸棶棽棸棻椄 旟 文章编号 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椄棸椀灢棻棻椀椂灢棸椆 暍 斬光光刻工艺微针阵列的制备 测试和仿真 棻灣 棻 棻 棽 棽 棳 棳 棳 棳 李以贵 吴文渊 王 欢 蔡金东 吕 曈 暋 暋 棬 棳 椈 棻灡上海应用技术大学 理学院 上海 棽棸棻棿棻椄 棳 棭 棽灡上海应用技术大学 机械工程学院 上海 棽棸棻棿棻椄 椇 棳 棳 暎 摘要 为 了 提 高 透 皮 给 药 的 效 率 降 低 传 统 注 射 对 人 体 的 疼 痛 感 需 要 制 备 微 针 阵 列 结 构 本 文 介 绍 了 一 种 新 的 微 针 阵 列 结 构 的 制 造 技 术 暎利 用 日 本 立 命 馆 大 学 的 同 步 辐 射 光 源 斄斦斠斚斠斄进 行 两 次 斬光 移 动 光 刻 和 一 次 固 定 斬光 光 刻 技 术 棳在 斝斖斖斄光 刻 胶 上 得 到 微 针 阵 列 暎通 过 采 用 不 同 的 掩 膜 版 图 形 以 及 对 不 同 位 置 的 空 心 孔 进 行 斬光 光 刻 棳获 得 了 不 同 规 格 的 空 心 微 针 阵 列 棳针 对 固 定 斬光 光 刻 时 对 准 的 问 题 棳自 行 研 制 了 斬光 光 刻 对 准 装 置 棳实 验 结 果 证 明 棳该 装 置 能 实 现 空 心 微 针 阵 列 的 制 备 暎并 且 进 行 了 微 针 刺 穿 测 试 棳结 果 证 明 微 针 有 足 够 的 强 度 暎为 了 达 到 低 成 本 批 量 复 制 微 针 阵 列 的 目 的 棳还 进 行 了 微 针 模 具 的 倒 模 和 复 制 实 验 棳成 功 得 到 金 属 镍 实 心 微 针 阵 列 暎最 后 棳针 对 光 刻 过 程 中 微 针 阵 列 结 构 的 侧 面 形 状 发 生 畸 变 的 情 况 棳对 移 动 斬光 光 刻 建 立 了 仿 真 预 测 棳将 仿 真 预 测 结 果 与 实 验 结 果 进 行 了 比 较 棳结 果 表 明 显 影 深 度 的 误 差 为 椀棩暎 椇 椈 椈 椈 关 键 词 透皮给药 移动 光光刻 固定 光光刻 微针阵列 暋 暋 斬 斬 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斣斘棽棸椀斣斘棾棸椀棶椃暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椄棽椂棸椀棶棻棻椀椂 棳 斊斸斺旘旈斻斸旚旈旓旑 旚斿旙旚旈