光学器件与硅电子器件对准-PhysikInstrumente.PDF

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光学器件与硅电子器件对准快速多通道光学器件对准系统硅光子器件硅光子器件的快速出现为带宽效率和可扩展性方面带来了希望但与此同时也为测试和封装工艺带来了诸多挑战其中最重要的挑战之一是在测试或封装开始之前对光纤装置进行对准从而优化光通量基于经济性方面的原因需要在这一不可预测需要纳米级精确度的步骤中实现快速吞吐量硅光子器件通常需要在多个输入或输出耦合中以多种自由度进行对准并且这些器件之间可以相互作用呈现移动的目标探测芯片检测有时实现正确的耦合十分困难而且十分耗费时间而且显而易见人工途径无法满能够大大提高

光学器件与硅电子器件对准 快速多通道光学器件对准系统 WWW.PI.WS 硅光子器件(SiP) 硅光子器件的快速出现为带宽、效率和可扩展性方面带来了希望,但与此同时也为测试 和封装工艺带来了诸多挑战。其中最重要的挑战之一是在测试或封装开始之前对光纤装 置进行对准,从而优化光通量。基于经济性方面的原因,需要在这一不可预测,需要纳 米级精确度的步骤中实现快速吞吐量。硅光子器件通常需要在多个输入或输出耦合中以 多种自

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