数字式质量流量控制器MQV-V系列特殊气体对应品补充说.PDFVIP

CP-UM-5397C 數字式質量流量控制器 MQV-V 系列 特殊氣體對應品 補充說明書 本說明書是數字式質量流量控制器MQV-V系列-特殊氣體對應品相關的補充說明書。 請與本體隨付的使用說明書共同參閱。 有關本書記載的各項目,優先于本體隨付的使用說明書。 警告 除下記氣體以外，請絕對不能使用本設備。使用的O型密封圈有可能被損壞。 對應氣體:氮氣(N2)、空氣、氬氣(Ar)、二氧化碳氣體(CO2)、氨氣(NH3)、 乙烯氣體(C2H4O)、乙炔氣(C2H2) 含氨成分的氣體、務必在露點-20 ℃以下的乾燥狀態下使用。 有可能損壞傳感器。 ■ 使用方法 使用前請按下記順序,對使用的氣體進行轉換系數( . .)設定。