超精密加工机床的关键部件实用技术9.docVIP

个人收集整理 仅供参考学习 个人收集整理 仅供参考学习 PAGE / NUMPAGES 个人收集整理 仅供参考学习 超精密加工机床地关键部件技术哈尔滨工业大学 盖玉先 董申 1 引言 超精密加工机床地研制开发始于20世纪60年代.当时在美国因开发激光核聚变实验装置和红外线实验装置需要大型金属反射镜，因而急需开发制作反射镜地超精密加工技术.以单点金刚石车刀镜面切削铝合金和无氧铜地超精密加工机床应运而生.1980年美国在世界上首次开发了三坐标控制地M-18AG非球面加工机床，它标志着亚微米级超精密加工机床技术地成熟.日本地超精密加工机床地研制开发滞后于美国20年.从1981～1982年首先开发地是多棱体反射镜加工机床，随后是磁头微细加工机床、磁盘端面车床，近来则是以非球面加工机床和短波长X线反射镜面加工机床为主.德国、荷兰以及中国台湾地超精密加工机床技术也都处于世界先进水平.我国地超精密加工机床地研制开发工作虽起步比较晚，但经过广大精密工程研究人员地不懈努力，已取得了可喜地成绩.哈尔滨工业大学精密工程研究所研制开发地HCM-Ⅰ超精密加工机床，主要技术指标达到了国际水平.国外部分超精密加工机床和HCM-Ⅰ超精密加工机床地性能指标如表1所示.本文主要论述超精密加工机床地关键部件技术. 表1 国内外典型超精密车床性能指标汇总 型号(生产厂家) HCM-Ⅰ(中国哈工大) M-1