液晶相位延迟量测方法评估.PDFVIP

液晶相位延遲量測方法評估 陳怡菁、陳彥良、徐祥瀚、藍玉屏 工業技術研究院量測技術發展中心 Yu-PingLan@itri.org.tw 壹、摘要 相位延遲 (phase retardation)是計算液晶層厚度 (cell gap)的重要參數。本研究係利用常見的旋轉偏 振量測法和共光程外差干涉術，量測具有雙折射性質的扭轉向列型液晶層和四分之ㄧ波片產生的相位 延遲量，針對此兩種完全不同的量測方法進行分析評估並比較量測結果。結果顯示，無論是液晶層或 是波片兩種方法得到的量測值差異不大分別為 3.37 nm和 2.07 nm 。旋轉偏振量測法針對液晶層和波片 的量測重覆性分別為 0.03 nm和 0.02 nm ，重現性為0.15 nm和 0.44 nm ；共光程外差干涉術針對液晶 層和波片量測的重覆性為 2.37 nm和 0.8 nm ，重現性為2.61 nm和 1.59 nm 。二者對於波片的量測平均 值分別為 157.99 nm和 16