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硅片检查作业 中国·无锡-江阴海润科技有限公司 受控状态 实施日期 2007年04月01日 适用部门 硅片生产部 受控 实施责任者 车间主管 作 业 内 容 适用范围 适用于清洗后硅片检查作业。 对象产品 硅片 使用设备 使用材料 WT-1000少子寿命测定仪、MS203 ρ-t测定仪 一次性塑料手套、口罩、泡沫包装盒 关键参数 № 作业步骤与方法 注意事项、自互检要求 1 检查前准备 用酒精擦拭检查台，确认检查台上没有其他硅片； 戴好口罩、手套(手套需用洒精擦拭)； 确认工艺单上的晶体来源、编号、电阻率、规格尺寸、刀号、机台号及备注； 清点硅片枚数与工艺单记录是否一致； 2 抽样品检测 测定前先点检校正ρ-t测量仪； 将台车上的样品硅片同工艺单一起搬至ρ-t检测台上； 在线切割机抽检数据表上写明刀号、机器号、厚度、晶体来源及晶体编号； 抽样品检查项目： 中心厚度、TTV、表面质量记录在线切割机抽检数据表上； 电阻率(取样片中的一个值)记录在电阻率测试记录单上； 取头尾各1枚测量少子寿命将值记录填写在工艺单的备注栏内； 取样片中的任意1枚测量对角线及宽度尺寸确认值是否在规格范围内； 3 产品检测 将抽样品返回母体； 图1图 图1 图2 外观检查方法： 按左图1的检查方式检查硅片外周的状况；按照左图2的检查方式分8个面来检查硅的面状况； 按左图1的检查方式检查硅片外周的状况；按照左图2的检查方式分8个面来检查硅的面状况； 注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 编制 审核 会审 批准 变更内容： 韩雄伟 孔卫民 张洪亮 陈文杰 编号 版本号 总2页 ZY/P-0010 a 第1页 硅片检查作业 中国·无锡-江阴海润科技有限公司 受控状态 实施日期 2007年04月01日 适用部门 硅片生产部 受控 实施责任者 车间主管 作 业 内 容 № 作业步骤与方法 注意事项、自互检要求 4 产品检测续 检查内容，将硅片中的等外品挑出暂放在指定位置(不良类别：崩边、缺角、TTV、超厚、超薄、裂纹、裂片、严线)判定参照检查标准； 将检查后的合格硅片放在指定位置，每50枚隔一张白纸、每100枚隔一张海绵； 5 检查后包装合并 整支棒硅片全部检查完毕后，核对硅片数量与工艺单数量是否吻合，确认无误后进行包装； 按300枚/盒用专用的包装盒包装好，包装时最多放6张海绵作为填充材。写好合格证，粘贴在外包装上并用胶带将包装盒封好放到指定位置； 将等外品放到等外品置场； 将零散的合格片同工艺单一起交给组长待合并； 将工艺单的记录输入电脑，并统计该根晶棒的合格率当合格率92%时需及时上报上长； 合并前核对工艺单的数据，确认检查零散合格片数量与工艺单数量是否一致； 一根棒的硅片最多分两个盒包装，合并的硅片合格证上只写2个晶体编号(取数量多的两个晶体编号)； 6 包装入库 将同一单晶、规格(电阻率、尺寸、等级)装在同一纸板箱内；(6寸为6盒/箱，8寸为4盒/箱) 写好装箱单贴在包装箱上； 每天将整箱的硅片填写入库单入库； 注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 编制 审核 会审 批准 变更内容： 韩雄伟 孔卫民 张洪亮 陈文杰 编号 版本号 总2页 ZY/P-010 a 第2页