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反应磁控溅射纳米多层膜的晶体生长和超硬效应！.pdfVIP

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  • 2019-03-26 发布于天津
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反应磁控溅射纳米多层膜的晶体生长和超硬效应！.pdf

    第卷第期年月物理学报反应磁控溅射纳米多层膜的晶体生长和超硬效应刘艳董云杉岳建岭李戈扬上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室上海年月日收到年月日收到修改稿采用靶和靶通过在混合气氛中进行反应磁控溅射的方法制备了不同调制层厚和不同调制层厚的两个系列的纳米多层膜利用射线能量色散谱仪射线衍射仪高分辨透射电子显微镜和微力学探针研究了多层膜的成分微结构和力学性能结果表明在混合气氛中对进行溅射的过程中原子会部分取代中的氧原子形成化合物在纳米多层膜中由于受到晶体调制层的模板作用溅射条件下以非晶态存在的层在其厚度

    第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 99 ;; ##% ;; ， ， ， RN+ /99 -N / ;; -NSF4TF) ##% （ ） ;###=$2#.##%.99 ;; .%#;$

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