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机芯二厂 王君 静电的基本概念：定义 静电现象 静电现象 认识静电 认识静电 右边是国家兵器局防静电研究所在测试：用静电枪放电使火箭弹点火装置意外触发。 同样的事例发生在1967年的美国佛斯特号航空母舰上，一枚挂载A4机翼下地对地攻击导弹意外点火，造成134人死亡的严重事故。 ESD损伤的失效模式 静电敏感器件（SSD） 静电防护的目的 静电防护的基本原则 静电的基本防护途径 全面、综合、配套的静电防护内容 防静电工作区（EPA） 防静电工作区标记 防静电工作区系统电阻的确定 ESD防护过程控制要求 ESD防护过程控制要求 静电防护系统的组成 人体静电防护 防静电操作系统的组成 EPA性能检查频次要求 防静电的主要内容 防静电手腕带的正确佩戴是： 使用通过安全性检查的手腕带，将长度适当的松紧圈直接佩戴在手腕上，并与皮肤良好接触；接触集成电路或已贴装集成电路的PCB时将鳄鱼夹夹持在接地良好的接地端，鳄鱼夹、接地线等裸露部分不得与设备、线体、工作台等的金属件接触。 在手腕带佩戴上，禁止1)将手腕带缠绕在手腕上，而不将其接地；2)将手腕带佩戴在衣服袖口上或将其藏在防静电工作服的松紧袖口内；3)将鳄鱼夹直接夹持在设备、线体外壳上或非专用静电接地端的其它点上。 防静电手腕带的佩戴 ESD防护过程控制要求 1)静电防护是一个系统工程，渗透到生产的全过程，每个环节都必须同样重视，万不可厚此薄彼。 2)防静电工程涉及的部门众多，需要相互协调、共同努力，各司其职，ESD才能得到有效控制。 3)静电防护在很大程度上是提高静电防护意识问题，提高所有接触静电敏感器件人员的静电防护意识，定期进行静电防护安全操作与静电防护技术培训是非常重要的。 4)制定完善的静电防护管理规程，实行有效的管理和监控，最大限度地减少或避免静电的危害。 完备的静电防护硬件系统包括： 人体静电防护、 环境静电防护、 操作系统静电防护、 静电保护接地、 离子风静电消除器、 静电检测及监控仪表、 防护措施的日常维护。 人体在日常活动和生产操作中可产生的电压为数十伏到数万伏的静电，而放电过程是及其短促的，所以静电放电过程中释放的能量可达几十瓦，这足以引起芯片微区烧毁或SiO2膜击穿。 因此对进入防静电工作区（包括生产、仓储、运输过程）的人员均要进行静电防护，其中首要的是配备防静电服、防静电手腕带和防静电鞋。 人体所携带的静电，一是可以通过接地良好的防静电手腕带及时泄放，另一方面防静电鞋与防静电地面的配合使用，可以及时有效地泄放人员在运动中产生的静电，减少人体所携带的静电。 防静电操作系统是根据防静电要求，为建立保护区域和进行保护性操作所必须配置的设施和工具的总称。 防静电安全工作台及防静电桌垫 防静电地垫 防静电区域警示标志 防静电元件盒（袋） 防静电周转车、周转箱 接地工具和设备 其它保护设备 防静电桌垫 防静电屏蔽袋 防静电屏蔽袋 防静电警示标志 离子风机 防静电 桌 垫 防静电 工作台 屏蔽袋 防静电 地 板 警示标志 防静电工作椅 接地线 手腕带 防静电工作台组成 防静电接地 接地是将电气连接到能供给或接受大量电荷的物体上，地线是指能够接受或提供大量电荷的物质（如大地、舰船或运载工具、设备外壳等）。通常说的接地有硬接地和软接地之分： 硬接地是指直接或通过一个低阻抗同地线相连； 软接地是指通过足够高的阻抗接地，将电流限制在人身安全电流（通常为5mA）之下。 防静电系统的接地线不得接在电源零线上，也不得与防雷地线共用，必须有独立可靠的接地装置，接地电阻一般应小于10Ω。使用三相五线制供电，其大地线可以作为防静电地线（但零线、地线不得混接）。 绝缘体的静电消除 从静电防护的角度来看，绝缘体具有以下特点： 1)绝缘材料特别是人工合成的绝缘材料，其表面起电量大，即很容易产生静电，通常这类材料的起电量不会小于5000V(相对湿度＜40%)。 2)由于材料的绝缘特性，一旦产生静电，其本身几乎无放电的通路，因此静电将会长期驻留积聚，其在表面电荷积聚到一定程度后，就可能随机放电造成危害。 3)由于绝缘体的绝缘特性，造成其表面产生、积聚静电荷分布极不均匀，在同一材料表面就会形成电位差，而电位差大到一定程度就会产生放电现象。 这里所指的绝缘体除绝缘材料外，还包括与大地断开的非绝缘体，如站在木凳的人、放在绝缘塑料上的铁板等。 离子中和法原理 离子中和法的原理是： 绝缘体表面所产生的静电荷以正、负电荷对称产生，离子中和法是使空气先发生局部电离而产生含有正、负离子的空气气流，然后用风机将气流吹向静电荷积聚区，气流中的正、负离子将遵循同性相斥、异性相吸的原理与绝缘体表面所积聚的静电荷进行中