半导体材料试卷A光电09009022011-12-05.docVIP

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A 命题教师: 吴春霞 共6 页第1 页卷 江 苏 大 学 命题教师: 吴春霞 共6 页 第1 页 (2011 -2012 学年第 一 学期) 学生所在学院 材料科学与工程学院 专业、班级 学号 姓名 学生所在学院 材料科学与工程学院 专业、班级 学号 姓名 使用班级 无机光电0901、0902 考试日期 2011 题 号 一 二 三 四 五 六 七 八 总分 核查人签名 得 分 阅卷教师 一、名词解释题(共10题,每题3分) 1、区熔提纯 2、反外延 3、间接跃迁 4、MOCVD 江 苏 大 学 试 题 第2页 5、 超晶格 6、阱宽 7、贫乏层 8、临界半径 9、成核率 10、完整突变光滑面 二、简述题(共10题,每小题5分) 1、简述高纯硅的制备过程 2、一次区熔提纯和正常凝固的区别和联系 3、假设一从熔体中生长晶体的过程是从成核开始的(核已达临界半径),试问在给定的温度下,该晶体生长的过程是等速的吗?说明理由。 4、Ko是体系处于固、液两相平衡时得出的杂质分配关系,试做出界面附近Ko小于1和大于1的杂质分布图。 5、什么是有效分凝系数?请写出它与平衡分凝系数K0的关系式,并给出字母的物理含义。 6、试举出ii-vi族化合物中存在的6种缺陷,并说明其在晶体中的位置和产生的能级性质。 7、什么是液相生长?必须满足的热力学条件是什么? 8、试述直拉法单晶中纵向电阻率均匀性的控制方法 9、什么是自补偿现象? 10、在SOS技术中存在着外延层的生长和腐蚀的矛盾,如何解决? 三、计算题(第1小题6分,第2,3小题各7分) 1、硅多晶200g,掺P-Si母合金0.5g,拉单晶头部电阻率为1.0Ω·cm(相应掺杂浓度为5.2×1015 根据左图推算出当BPS公式中 根据左图推算出当BPS公式中,和 时对于k为0.1、0.5和10.0的杂质的平衡分凝系数的值。 3、欲把1100g高纯多晶硅拉制成ρ=20~50Ω·cm的N型单晶。试拉制杂质浓度为5×1013cm-3的P型单晶,责应掺入电阻率为8×10-3Ω 已知:坩埚直径为13cm,硅和母合金熔化到放肩约1h。 由硅的ρ-N图查得掺磷母合金8×10-3Ω·cm,相应的杂质浓度为7×1018cm-3;。ρ=50Ω·cm的N型Si单晶所对应的杂质浓度为1×1014cm-3; E磷=10-4

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