透明导电薄膜用Sb掺杂SnO2光电特性研究【毕业论文】.doc

- PAGE I - 本科毕业设计 （20 届） 透明导电薄膜用Sb掺杂SnO2光电特性研究 所在学院 专业班级 电子信息科学与技术 学生姓名 学号 指导教师 职称 完成日期 年 月 PAGE II PAGE I 摘 要 【摘要】本文主要介绍了ATO(Antimony Doped Tin Oxide)，薄膜的应用背景、研究现状、存在问题以及将来的发展趋势，概括了ATO薄膜现有的制备方法和研究成果，特别是ATO的制备工艺条件对薄膜的紫外—可见光透过率以及电阻率的影响。通过X射线衍射（XRD）、透射电子显微镜（TEM）、紫外可见分光光度仪 (UV-Vis Spectrometer)对样品的晶体结构、形貌、光学带隙进行了表征。利用丝网印刷方法制备了ATO薄膜气敏元件，并进行了气敏性能测试。 【关键词】二氧化锡；掺杂量的影响；水热法；光电特性。 Abstract 【ABSTRACT】In this paper，the application background, current status, problems and future trends of ATO(Antimony Doped Tin Oxide) film were introduced. In addition we also summarize the existing preparation methods and research results of ATO film, especially the effect of preparation conditions of ATO thin film on the UV-vis light transmittance and resistivity. By the XRD, SEM, UV-Vis Spectrometer, the crystal structure morphology, optical band gap of the samples were characterized. Then, ATO film gas sensor was prepared by screen printing method, and used to test the gas sensing properties. 【KEYWORDS】SnO2; the impact of Sb doping; hydrothermal method; optical and electrical properties. PAGE IV 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc293697078 摘 要 PAGEREF _Toc293697078 \h II HYPERLINK \l _Toc293697079 Abstract PAGEREF _Toc293697079 \h III HYPERLINK \l _Toc293697080 目 录 PAGEREF _Toc293697080 \h IV HYPERLINK \l _Toc293697081 1 绪论 PAGEREF _Toc293697081 \h 1 HYPERLINK \l _Toc293697082 1.1课题背景 PAGEREF _Toc293697082 \h 1 HYPERLINK \l _Toc293697083 1.1.1透明导电膜简介 PAGEREF _Toc293697083 \h 1 HYPERLINK \l _Toc293697084 1.1.2 SnO2简介 PAGEREF _Toc293697084 \h 2 HYPERLINK \l _Toc293697085 1.1.3锑掺杂SnO2特性概述 PAGEREF _Toc293697085 \h 3 HYPERLINK \l _Toc293697086 1.2 Sb掺杂SnO2粉体及薄膜制备方法概述 PAGEREF _Toc293697086 \h 4 HYPERLINK \l _Toc293697087 1.2.1 Sb掺杂SnO2粉体制备方法 PAGEREF _Toc293697087 \h 4 HYPERLINK \l _Toc293697088 1.2.2 Sb掺杂SnO2薄膜制备方法 PAGEREF _Toc293697088 \h 5 HYPERLINK \