带空气轴承的PIglideIS平面扫描仪-PIUSA.PDF

带空气轴承的PIglideIS平面扫描仪 高性能，紧凑型XY纳米定位系统 A-311  扫描应用的完美选择或精密定位  无尘室兼容  行程达200 毫米× 200 毫米  负载容量达147 牛  低外形  分辨率达1纳米 产品概述 带空气轴承的高精度PIglide IS XY 平面扫描仪采用扁平设计，可用于替代堆叠XY位移平台。高效、紧凑的设计安装空间有限，能够节省机械空间。 PIMag磁力直接驱动 三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至运动平台，且无摩擦。驱动器可实 现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在最低的速度 下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制 。驱动力可任意设定。 利用来自领先制造商的数字控制器，操作可提供高级控制算法，以改善动态性和误差补偿。 附件和可选配件  编码器  PIglide过滤器和空气预处理器  多轴运动控制器和直接驱动器  机器底座  花岗岩底座板和隔振系统 应用领域 PIglide 定位系统特别适合高精度应用，例如检测系统、激光打标、显微镜或扫描。 16.08.2018 规格 运动 A-311.Dxx A-311.Axx A-311.Bxx A-311.Cxx 单位 公差 行程 50 × 50 100 × 100 150 × 150 200 × 200 毫米 (1) 螺距 20 25 35 40 微弧度 最大 (1) 偏转角 10 10 15 20 微弧度 最大 (1) 直线度 0.5 0.5 0.5 1 微米 最大 (1 每10毫米行程的直线度 ) ±10 ±10 ±10 ±10 纳米 最大 (1) 平面度 0.5 0.5 1 1.5 微米 最大 (1 每10毫