GB/T 16594-1996微米级长度的扫描电镜测量方法.pdf

ICs17.040.01 N 33 噶8 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T 16594一1996 微米级长度的扫描电镜测量方法 MicrongradelenghtmeasurementbySEM 1996一11一04发布 1997一04一01实施 国 家 技 术 监 督 局 发布 Gs/T16594一 1996 前 言 本标准是一个测量方法标准，其量值可以溯源到长度基准。 本标准主要用于测量微小颗粒的直径、薄层厚度、线条宽度、线条距离、线维直径、刀刃的曲率半径 本标准可与JJG550-88扫描电子显微镜检定规程并列使用。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。 本标准起草单位:上海市测试技术研究所、中国船舶总公司725研究所。 本标准主要起草人:张训彪、徐国照、高文华。 中华人民共和国国家标准 微米级长度的扫描电镜测量方法 Ga/T16594一1996 MicrongradelenghtmeasurementbySEM 1 范围 本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法，适用于测量。.5^-10Km的长度，也适用于电子 探针分析仪测量微米级长度。 2 引用标准 下列标准包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。在标准出版时，所示版本均为 有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。 JJG550-88 扫描电子显微镜 检定规程 基本原理 这是一种比较测量方法。其基本原理是:先用扫描电镜获得待测样品和微米级标尺(以下简称标 尺)的二次电子像，然后用比长仪测量出底片上标尺图像的分度长度(A)和样品图像中待测的两个特征 点之间的长度 B〔)。样品中待测的实际长度(L)按式((1)计算。 L 一 B 月 . 一 一 A (1) 式中:h— 标尺分度的标定值。 4 标准器和仪器设备 月 J I ﹃ ， 标尺 :应经过法定计量机构标定。 j 八 ﹃ … 了 ﹄ 扫描电镜:分辨力优于0.01km, 月 q q ︺ 比长仪:量程不小于60mm，误差不超过士5km 月 J 咔 ﹃ 光学显微镜:放大倍数不小于40倍。 亡 」 试验方法 5.1 样品的准备 5.1.1将待测样品置于样品柱上，用光学显微镜观测，将样品的工作面调整到与样品柱垂直，然后用导 电胶将样品固定。 5.1.2若样品不导电，应在样品表面喷镀厚度大约为10nm的金。 5.1-3 将样品柱置于样品座上，并调整到标准高度。 5.1.4 按5.1.1^-5.1.3方法，将标厂 于样品座上。 5.1.5用光学显微镜观测，先将样品置于视场中，调节光学显微镜，使样品工作面正焦。 吓1.6 平移样品座，使标尺置于视场中，调节标尺高度，使标尺工作面正焦。 国家技术监督局1996一11一04批准 1997一04一01实施 r cB/T 16594一1996 5.1.7 将样品座固定在扫描电镜的样品台上。 5-2 拍摄样品的二次电子像 5.2.1 将扫描电镜调整到最