太阳能电池 工作原理、技和系统应用的课件 太阳能电池课件 新南威尔士大学.ppt

* UNSW新南威尔士大学 * 5.4.1硅太阳能电池的制造技术丝网印刷太阳能电池 的方案： 使用切割工具或激光在晶片表面进行机械制绒 基于缺陷结构而不是晶面取向的各向同性化学刻蚀 各向同性化学刻蚀与光刻掩模技术相结合 等离子刻蚀 虽然许多制绒多晶硅材料的方法都展示了相当大的前景，但是至今还没有一项被实施在大规模商业生产线中。 减反射膜 减反射膜非常有利于不容易制绒的多晶硅材料。二氧化钛（TiO2）与氮化硅（SiNx）是两种常见的减反射膜材料。膜的制造适用于简单的技术，如喷洒或化学气相沉积。除了有利于光的吸收外，绝缘膜还能够使表面钝化，提高电池的电学特性。依靠一种带有切割试剂的粘稠剂对减反射膜进行丝网印刷，金属电极能够腐蚀膜材料并最终与底层的硅相连接。过程非常简单，且有利于连接浅层的发射区。 * UNSW新南威尔士大学 * 5.4.1硅太阳能电池的制造技术丝网印刷太阳能电池 边界隔离 如今有许多边界隔离技术，比如等离子刻蚀、激光切割或者首先用膜掩盖住边界以阻止扩散的发生。 背电极 背电极是在一般pn结电池背面用扩散法或合金法加制一层与基区导电类型相同的重掺杂区，然后再在重掺杂区上面制作金属接触电极，一般为铝电极。 衬底 丝网印刷技术已经被使用在许多不同的衬底上。排序的简单化使得丝网印刷技术非常适合于质量较差的衬底，比如