介质阻挡放电中的能量转换过程研究!-物理学报.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 (’ $ # $ ， ， ， Q;1 *(’ P; * $ D:.A@ # （ ） $-%FG#G(’ $ G##)-’ HIJH KLMNOIH NOPOIH !# IB03 * KB29 * N;: * 介质阻挡放电中的能量转换过程研究! ! 尹增谦 万景瑜 黄明强 王慧娟 （华北电力大学数理系，保定 #$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ’ $ % # ( ) 研究了介质阻挡放电过程中的电流强度、电场强度以及电荷分布的演变规律，并对能量转换性质进行了分析* 研究结果表明，在一个放电脉冲过程中，外加驱动电源所作的功、电场能量的增量均与起始时刻的壁电荷密度有 关，而气体中放电电流所作的功即沉积于气体中的能量与起始时刻的壁电荷密度、放电电流的具体波形无关* 关键词：介质阻挡放电，壁电荷，动力学过程，能量转换 ： ， !## ($( () $ 引 言 DED 概述 放电具有瞬态放电、等离子体参数（电子温度和 DED 的典型特征是在至少一个电极上覆盖有 电子密度）方便可调、可工作在高气压条件等独特性 电介质层，当外加驱动电压增大从而使气体内的电 场强度达到击穿场强 时发生放电，放电电流将 质，介质阻挡放电（ ，简记为 ! =01:?@0: A/@@0@ =09:B/@C DED）作为典型的远离平衡态的交流气体放电，被广 带电粒子积累到电介质表面形成壁电荷，从而产生 与驱动电场方向相反的内建电场* 内建电场的产生 泛地应用于材料表面改性、臭氧合成以及等离子体 导致气隙内总电场强度的减小，当总电场强度减小 ［］ 显示等$ 工业领域 由于 的非线性等独特性 * DED 到低于放电维持电场强度（又称熄灭场强） 时，放 ! # 质，近年来成为等离子体物理学、斑图动力学的前沿 电就终止 只有当外加电压增大或反向时，才能发生 * ［］ 研究课题