激光扫描测微仪.pptxVIP

激光扫描测微仪 姓名：小头爸爸 学号光扫描测微仪简介激光扫描尺寸测量是 1972 年 Zygo 公司发展起来的一种技术，随着科学技术的提高，激光扫描测量技术也得到了长足的发展。是一种典型的光电检测技术，具有精度高、速度快、不接触、自动化程度高等优点。主要应用激光扫描测微仪适用于直径、间缝和位置等多种尺寸测量场合，特别是适用于对热、辐射和易脆物体的测量和生产线上在线尺寸测量与控制应用。在实际应用中，以线缆生产应用较多，例如漆包线、光纤生产和电缆外皮涂敷，还可用于轴类零件的测量与筛选等质量控制中。激光扫描测微仪可以在各种加工噪声中工作；能适应实时的数据处理与对加工进行主动控制。测外径和距离测外径测宽度测边界位置基本原理基本原理利用激光束的方向性和高能量密度的特点，通过多面转镜光学扫描系统进行光束扫描，在测量区域形成“光幕”，被测物体在“光幕”中遮挡光线产生“阴影”，通过对此“阴影”的计时，就把被测物体的空间尺寸或位置转换成电信号的时间序列，再由扫描速度和“阴影”时间相乘得到被测尺寸。优点非接触、高精度及快速响应相比于成象方法、衍射方法的测量范围大，分辨能力高原理与性能分析多面转镜由扫描电机驱动以恒定角速度旋转，扫描光束经过 K-Theta 透镜后形成以恒定线速度扫描的平行光束。这部分是激光扫描测微仪的关键技术之一，它直接决定了测量区域扫描光束的线速度 v 的稳