无源无线声表面波传感器硬件系统分析.pdfVIP

1 绪 论 1 绪 论 1.1 声表面波技术发展历史 声表面波器件是一种信号处理器件，包括延迟线、带通滤波器、谐振器等。 由于声表面波的传播速度通常只有电磁波传播速度的十万分之一，所以声表面波 器件的尺寸比相应电磁波器件的尺寸减小许多，如 1km 长的微波传输线所得到的 延迟，只需传输路径为 1cm 的声表面波延迟线即可实现。因此，压电基片上叉指 换能器的这一功能非常适合电子模拟信号处理，能实现多种模拟信号处理功能。 [1] 因此，声表面波器件凭借其高精度、高重复性、高稳定性、体积小等优点 ，在 雷达、通讯、遥测遥控和传感器等领域得到广泛应用。 1885 年，英国物理学家瑞利发表了名为“沿弹性体平滑表面传播的波”的论 文，在理论上阐述了一种沿半无限厚弹性体表面传播，且能量集中于表面的波， 即声表面波(Surface Acoustic Wave，简称SAW)。1965 年，White 等人首次在压电 基片上制作金属叉指换能器，并在叉指换能器上施加交变电