压电陶瓷驱动器动态特性的实验研究.pdfVIP

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2019-04-10 发布于未知
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压电陶瓷驱动器动态特性的实验研究.pdf

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第27卷第2期压电与声光 V01．27No．2 2005年4月 PIEZOELECTRICSACOUSToOPTICS Apr．2004 文章编号：1004—2474(2005)02—0203—03 压电陶瓷驱动器动态特性的实验研究潘策，陈晓南，杨培林 (西安交通大学机械工程学院，陕西西安710049) 摘要：动态响应的迟滞非线性是影响压电陶瓷驱动器高精度控制性能的一个重要因素，必须在控制中加以动态校正补偿。但由于驱动器的材料、结构和工作条件各异，所以关于动态非线性的定量描述难以建立一个统一的数学模型。针对这个问题，将PID参数的模糊自调整算法应用于微位移工作台，建立了一个动态特性的闭环校正控制系统，真正实现了工作台的快速响应。关键词：压电陶瓷微位移驱动器；动态特性；PID；模糊自调整；微位移工作台中图分类号：TP242 文献标识码：A Researchof on CharacteristicofPiezo-ceramic ExperimentDynamic PAN Ce，CHENXiao—nan，YANGPei—lin ofMechanical 710049，China) (College JiaotongUniversity，Xi’an Engineering，Xi’an Abstract：Becausethe and of arevitalcauseswhichaffectthe delaynon-linearitydynamicresponse high-accu— controlcharacterof andoffsetshouldbeaddedin racy piezoelectric-ceramicunit，dynamicadjustment operation．But thedifferencesofmaterial、constructionandworkconditionofactuatorleadtO of astandard difficultysettingup to this mathematicmodeltO formulatethe character．Inordersettle precisely dynamicnon-linearity problem，this of intothecontrolof worktable， paperadaptsfuzzyself-adjustmentalgorithmPID-parameter micro-displacement a constitutes of offsetandrealizes of closed-loopsystemdynamicadjustment，and rapidresponsemicro—displace— mentworktable．