附件一技术参数.PDFVIP

附件一：技术参数 近常压扫描探针显微镜系统主要包含以下几个部分：近常压SPM分析室，近 常压SPM扫描系统，样品制备系统以及综合分析系统，具体参数如下： 1 近常压SPM分析室 1.1 不锈钢球形分析腔，直径Ø260； 1.2 震动隔离模块 1.3 预留法兰接口用于连接近常压STM，样品停放台，离子源，原位光 学窗口，样品传输装置，真空规，真空泵组，观察窗以及其他可扩 展的分析手段； 1.4 手动闸板阀用于样品传输； 1.5 *真空泵组包括：离子泵，抽速240l/s (N)；钛升华泵，抽速7202 l/s (N)；分子泵，抽速260 l/s (N), 带有自动进气阀，无油前2 2 级；基底真空优于9E-10mbar，经过72小时烘烤，48小时冷却降 到室温后真空优于2E-10 mbar，并配有超高真空规，监测真空变