激光干涉微位移测量系统设计课题总结报告.doc

北京信息科技大学 《专业综合实践》报告 题 目 激光干涉微位移测量系统设计 学 院 仪器科学与光电工程 专 业 光信息科学与技术 学 号 2011010736、744、750、728 姓 名 邓伟壮、潘晗、张驰、贾希冉 指导老师 日 期 2015.1 目录 TOC \o "1-4" \h \u HYPERLINK \l _Toc26083 题 目 激光干涉微位移测量系统设计 PAGEREF _Toc26083 1 HYPERLINK \l _Toc1580 目录 PAGEREF _Toc1580 2 HYPERLINK \l _Toc8134 一、方案要求 PAGEREF _Toc8134 3 HYPERLINK \l _Toc25285 1、设计内容 PAGEREF _Toc25285 3 HYPERLINK \l _Toc11472 2、设计目标 PAGEREF _Toc11472 3 HYPERLINK \l _Toc3659 3、设计预计实现目标 PAGEREF _Toc3659 3 HYPERLINK \l _Toc245 二、方案调研及原理 PAGEREF _Toc245 3 HYPERLINK \l _Toc8665 1、光学微位移测量的几种方法 PAGEREF _Toc8665 3 HYPERLINK \l _Toc23029 （1）光外差法 PAGEREF _Toc23029 3 HYPERLINK \l _Toc4343 （2）电镜法 PAGEREF _Toc4343 3 HYPERLINK \l _Toc32476 （3）激光三角测量法 PAGEREF _Toc32476 3 HYPERLINK \l _Toc10658 （4）干涉法测量 PAGEREF _Toc10658 4 HYPERLINK \l _Toc1125 2、 光电接收器件 PAGEREF _Toc1125 4 HYPERLINK \l _Toc31113 （1）光敏电阻 PAGEREF _Toc31113 4 HYPERLINK \l _Toc1476 （2）PIN光电二极管 PAGEREF _Toc1476 4 HYPERLINK \l _Toc27217 （3）利用PIN光电二极管检查光信号 PAGEREF _Toc27217 6 HYPERLINK \l _Toc31834 三、测量系统设计 PAGEREF _Toc31834 8 HYPERLINK \l _Toc13536 1、 整体电路设计 PAGEREF _Toc13536 8 HYPERLINK \l _Toc30298 2、 光路部分 PAGEREF _Toc30298 8 HYPERLINK \l _Toc3062 3、 电路部分设计 PAGEREF _Toc3062 9 HYPERLINK \l _Toc11129 （1） 前置放大电路（电流/电压转换） PAGEREF _Toc11129 10 HYPERLINK \l _Toc8351 （2） 电压跟随器（电压稳定） PAGEREF _Toc8351 11 HYPERLINK \l _Toc10254 （3） 去直流电路（高通滤波） PAGEREF _Toc10254 11 HYPERLINK \l _Toc30541 （4） 滤波电路（低通滤波） PAGEREF _Toc30541 11 HYPERLINK \l _Toc19031 （5） 两级放大电路（5~50倍放大） PAGEREF _Toc19031 12 HYPERLINK \l _Toc31382 （6） 负电压电路（由于用电池供电，需要负电源） PAGEREF _Toc31382 12 HYPERLINK \l _Toc27322 4、软件部分设计 PAGEREF _Toc27322 12 HYPERLINK \l _Toc24795 四、系统调试分析 PAGEREF _Toc24795 12 HYPERLINK \l _Toc3899 1、光路部分 PAGEREF _Toc3899 12 HYPERLINK \l _Toc25725 2、电路部分 PAGEREF _Toc25725 12 HYPERLINK \l _Toc19332 3、软件部分 PAGEREF _Toc19332 12 H