真空设备操作维护保养规程.doc

Lgt 作业指导书 文件编号： 发布日期：2015年2月1日 版 本：A—0 题目： 真空泵及真空系统操作维护保养规程 第 PAGE 9页共19页 目的：按规定进行设备的管理，指导正确操作、使用、维护和保养设备，保证生产， 提高产品质量，改进环境绩效，预防和减少事故发生。 2．范围：本规程适用于真空泵及真空系统的使用和维护保养 3．操作规程 3.1旋片泵操作规程 3.1.1 型号：2X－70 几何抽速：70L/S； 极限压力：1帕； 泵转速：450转/分； 电机：Y132L-4 功率：5.5KW； 电机转速：1440转/分； 配用三角带；B/1600：4根； 冷却水消耗量：480L/H； 润滑油：1#真空机械泵油（KK-1） 储存量8Kg； 口径：进气90mm 排气60mm。 3.1.2操作规范 3.1.2.1起动前的准备 （1）检查皮带的松紧程度，起动前可以松一些，起动后调节底座上的螺栓，慢慢拉紧，以减少起动力矩。 （2）检查各部分有无松动现象，电机转向是否同泵的要求符合。 （3）检查油箱内的油位是否在视镜的两条油标线之间。 （4）对于长期未工作的泵，起动前应间断起动电机，检查是否灵活。 （5） 检查冷却水是否正常（管路上水压表水压≤0.2－0.3MPa）、润滑油是否正常。 3.1.2.2起动 （1） 打开冷却水阀。 （2） 合上电源的开关，起动电机。 （3） 泵启动后，再缓慢打开进气阀，以免泵的负荷急剧增加。 3.1.2.3停车 停泵时应先关断进气口阀门，打开放弃阀法对泵放气。 3.1.3注意事项 3.1.3.1应经常注意油位及油的清洁，新泵工作150小时后换油一次，以后每2-3个月换油 一次，如使用条件不好，真空度下降，可以缩短换油时间。 3.1.3.2应经常保持泵及泵房的干燥清洁。 3.1.3.3注意泵温及冷却水和油的温度，水温在20-40℃之间，不应超过40℃，即泵温不超 过环境温度加上40℃。 3.1.3.4润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度。 3.1.3.5入停车后泵温要下降至5℃以下时，泵内冷却水必须除净。 3.2罗茨真空泵操作规程 3.2.1性能规范 型号：RTO,300S; 抽气速率：300L/S； 极限压力：0.6帕； 进排气口径：160mm/100mm 配用电机：3KW 3.2.2操作规范 3.2.2.1起动前准备 （1）检查冷却水管是否畅通无阻（管路上水压表水压≤0.2MPa）。 （2）检查两端盖内的润滑是否足够，齿轮箱侧油位应以寖没3～4个齿高度为宜。电机侧 油位应以寖没1/3～1/2油窗高度为宜。润滑油封的油杯油位应在油杯高度的1/3～1/2之间。 （3）如果吸入气体中有粉尘或其它金属粉末，应在进气口前加装防尘或过滤装置，如果 吸入气体有腐蚀性，必须采取中和措施。 （4）检查各部分有无松动现象，较长时间不用后，应拆下旁通溢流阀，检查有无锈死。 （5）检查电机转向是否同泵体上的箭头一致。 3.2.2.2起动 （1）起动前级泵。 （2）打开本泵的进气阀门。 （3）打开冷却水阀门，当容器压力达到工艺规定压力时，起动本泵。 （4）泵运转时应平稳，转子不得有冲击声。 （5）泵的轴封处不得有漏油现象。 （6）泵在运转过程中如局部升温过大，电流计读数突然发生变化，产生不规则的噪声或 其它异常现象，应立即停泵检查。 3.2.2.3停泵 停泵时，应先停罗茨泵，再停前及泵，否则会导致罗茨泵出口压力升高，负荷增大 而可能烧坏罗茨泵电机或损坏罗茨泵。或会导致前级泵倒转，前级泵泵油倒灌入管道或罗 茨泵，导致前级泵缺油，并有可能污染被抽环境。 （2）停止本泵并关闭排气阀门。 （3）停止前级泵。 （4）关闭冷却水进水阀。 3.2.3注意事项 3.2.3.1 应经常保持使用环境清洁干净。 3.2.3.2应经常注意各部件的润滑情况，如发现润滑油不足时，应及时补充，如发现润滑油 不清洁时，应及时更换。 3.2.3.3润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度。 3.3扩散泵操作规程 3.3.1性能规范 型号：KT600 600表示吸气口径； 抽气速率：≥16000L/S； 极限真空：6.5X10-5Pa； 加热功率：9KW； 装油量：6-7L(ks-3)； 耗水量：≤1000L/H； 进口/出口：600/150。 3.3.2操作规范 3.3.2.1起动前准备 (1)检查冷却水管是否畅通无阻（管路上水压表水压≤0.2～0.3MPa）； (2)起动前，高真空阀门应处于关闭位置。 3.3.2.2起动 （1）起动前级泵，抽出扩散泵内的气体。 （2）接通冷却水（注意：急冷水套在扩散泵停机时才能通水）。 （3）接通扩散泵加热电源，对扩散泵加热60min后，当容器压力达到工艺规定压力时， 打开高真空阀门，扩