传感器与检测技术-ppt课件第四章.pptVIP

第4章 电容式传感器;引言;4.1电容式传感器工作原理;4.1 变面积式电容传感器 ;面积变化型电容传感器原理 ;面积变化型电容传感器原理 ;面积变化型电容传感器原理 ;4.1.2 变极距式电容传感器;（a）为平板形位移电容传感器。 ;差动结构形式 ; 4.1.3 变介质式电容传感器 ;介质变化型电容传感器结构 ;介质变化型电容传感器结构 ;结论; 当电容传感器处于初始位 置时，电桥平衡，电桥输出电 压 ；当被测量的变 化引起电容传感器的电容发生 变化时，电桥失去平衡，电桥 有电压输出，即 。;4.2电容式传感器的测量电路;4.2电容式传感器的测量电路;4.2电容式传感器的测量电路;4.2电容式传感器的测量电路;4.2电容式传感器的测量电路;4.2电容式传感器的测量电路;4.2电容式传感器的测量电路;4.3 电容式传感器的误差及制作要求;4.3 电容式传感器的误差及制作要求;4.4 电容式传感器的???用;4.4.1 电容式压力传感器;4.4.2 电容式加速度传感器;4.4.3 电容式湿度传感器;4.4.4 电容式荷重传感器;4.4.5 电容式厚度传感器;4.4.5 电容式厚度传感器;4.4.6 电容式位移传感器;4.5 电容栅式传感器;4.5.1 基本类型及原理;4.5.1 基本类型及原理;4.5.2