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第4章 导 线
2008级 集成电路专业 黑龙江大学 2010-2011学年第1学期 《数字集成电路设计》 卜丹 1
一、引 言
1. 互连线的重要性
1. 互连线的重要性
•互连线在尺寸缩小时其寄生效应同晶体管等有源器件
•互连线在尺寸缩小时其寄生效应同晶体管等有源器件
并不相同;
并不相同;
•随着芯片规模的增大(虽然工艺线宽在缩小,但是芯
•随着芯片规模的增大(虽然工艺线宽在缩小,但是芯
片的整体尺寸在增大),全局互连线的平均长度也在
片的整体尺寸在增大),全局互连线的平均长度也在
增大,从而导致了相应寄生效应的增大;
增大,从而导致了相应寄生效应的增大;
•电路规模增大,连线越来越复杂;
•电路规模增大,连线越来越复杂;
•……
•……
•互连线对电路性能、功耗和可靠性的影响越来越大。
•互连线对电路性能、功耗和可靠性的影响越来越大。
2008级 集成电路专业 黑龙江大学 2010-2011学年第1学期 《数字集成电路设计》 卜丹 2
2. 互连线及其模型
2008级 集成电路专业 黑龙江大学 2010-2011学年第1学期 《数字集成电路设计》 卜丹 3
2008级 集成电路专业 黑龙江大学 2010-2011学年第1学期 《数字集成电路设计》 卜丹 4
3. 互连寄生效应对电路影响
寄生效应的影响:
(1)引入噪声,可靠性降低
(2)影响性能:延时增加、功耗增加
寄生效应的类型:
•电容性的寄生效应
•电阻性的寄生效应
•电感性的寄生效应
2008级 集成电路专业 黑龙江大学 2010-2011学年第1学期 《数字集成电路设计》 卜丹 5
二、互连线的参数
1. 电容:平行板电容
2008级 集成电路专业 黑龙江大学 2010-2011学年第1学期 《数字集成电路设计》 卜丹 6
1. 电容:平行板电容+边缘电容
由宽度为w 的一条导线与接地平面之间的
垂直电场决定,以及一个边缘电容(用一条直
径等于互连线宽度H的圆柱形导线来模拟)。
wε 2πε
di di
c =+ c cwire + pp fringe (4.2)
log(2tt /H 1) +
di di
w W H/2−
2008级 集成电路专业 黑龙江大学 2010-2011学年第1学期 《数字集成电路设计》 卜丹 7
• W/H较大时,
• W/H较大时,
W 总电容接近平行板电容
总电容接近平行板电容
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