激光微加工系统研制研究-光学工程专业论文.docxVIP

激光做力11 丁1系统制制 摘要 激光微加工技术作为激光加工技术的一个新兴分支，已被越来越广泛地应用于精 密机械加工、微机械制造等诸多领域。本文对激光微加工系统中各主要部分的研究和 设计方法进行了全面的讨论，包括激光微加工机的单片机控制器、加工光学系统、 PC 机监控软件等三部分。此外，还讨论了激光微加工系统的整体实现和加工控制方式。 激光器输出的加工光经过光学系统的后 F 形成符合微加工精度和能量密度要求的 加工光斑并衷焦于被加工工件的表面。然后，由单片机控制器控制激光器、加工平台 以及辅助系统按照预先设定的加工模式进行加工。在对工件的整个加工过程中，可以 通过显微镜系统对加工过程进行观察。由于采用了视频图象实时采集技术，还可以通 过 PC 机对加工过程进行监视和存储。 在单片机控制器、光学显微镜系统和 PC 机监控软件的配合下，本激光微加工，系 统实现了一种新的加工控制方式。即通过鼠标在加工区域的实时视频图像 t绘制加工 图样，然后出 PC 计算机根据此图样自动生成加工控制信息，并通过单片机控制器控 制激光微加工机进行加工。此方式不要求用户事先编写控制程序 p 提高了系统的实用 院 3 关键词 (Ke泸Nords ): 激光微加工( Laser mìcroprocessing ) 单片机 (Single Chip Computer)  视频图象采集 (Vid